奥运的余热已经过去数月,转眼已是2008年底。
池塘科技的实验室里,一台造型奇丑无比的机器正在运转。
“不对,轴承震动还是大了0.3微米。”
章朔趴在观察窗前,眼珠子瞪得鼓鼓的,手里捏着皱皱巴巴的记录本。
“光源同步率没问题,问题出在工件台的移动补偿上。”
面前这台大家伙,就是他们折腾了好几个月的成果——
国产首台干式DUV光刻机原型机。
不像ASML那种充满了工业美学的流线型外壳,这玩意儿看着就像是用着就地取材的铁皮随意焊接起来的锅炉。
各种管线裸露在外面,红红绿绿的,像是一盘没理顺的意大利面。
但它能跑。
虽然跑得跌跌撞撞,跟刚学会走路的孩子似的。
但光源只要一打出去,硅片上确确实实能留下印子。
“老章,这精机所给的导轨,怎么跟我给的参数不太一样?”
池宏转头问道。
章朔正蹲在机器底下拧螺丝,闻言钻出来,脸上蹭了一道黑油。
“池总,精机所那边说了,你要的那种超高精度气浮导轨,原材料被日本禁运了。”
“他们是用咱们国产的特种钢,硬磨出来的。”
“磨出来的?”
“对,八级钳工,手工磨的。”
章朔抹了把汗,咧嘴一笑,牙齿显得特白。
“咱们没有那种精密机床,但咱们有人。”
“几百个老师傅,三班倒,愣是给磨平了。”
池宏沉默了。
他伸手摸了摸那根冰凉的导轨。
触手温润,滑不留手。
这就是华夏工业的底色。
没有枪没有炮,我们就自己造。
笨办法,土办法,但这办法管用。
“行,能用就行。”
池宏拍了拍机壳。
“光源那边呢?激光院老钱怎么说?”
“老钱这几天住在实验室了,说是要把脉冲频率再提百分之十。不过……”
章朔犹豫了一下。
“不过啥?”
“钱花得差不多了。”
章朔指了指角落里那堆废弃的实验材料。
“激光院那边的经费本来就紧,现在全是咱们池塘科技在贴。”
池宏揉了揉太阳穴。
最近钱确实是花了不少。
搞芯片就是个吞金兽,这嘴一张,多少钱都不够填。
“只要能出光,钱我来想办法。”
池宏从兜里掏出烟盒,想点一根,看了看周围的精密仪器,又塞了回去。
“咱们这台干式机,现在良率能到多少?”
“勉强60%。”
章朔叹了口气。
“主要是对准系统还不稳定,每次曝光都要人工校准,效率太低。”
“梁猛松教授怎么说?”
“梁教授看了数据,说是算法问题,让咱们别光盯着硬件,多在软件补偿上下功夫。”
池宏点点头。
梁猛松确实毒辣。
现在的国产硬件水平确实有差距,短时间内补不上来。
那就只能靠软的。
用算法去弥补硬件的精度缺失,这是池塘科技的老本行。
这也是前世梁猛松在中芯国际做出的贡献——
发掘出光刻机最大的潜能。
“告诉顾天。”
池宏吩咐道。
“让他把那个‘启明’的补偿算法再优化一版。”
“好嘞。”
章朔答应一声,又钻回车间底下去了。
池宏走出车间,深吸了一口外面的冷空气。
肺里那种焦灼感稍微缓解了一些。
这台干式机虽然落后,但意义重大。
这是火种。
现在芯片全流程都通了,唯独缺了生产设备这一环。
目前的努力,都会成为将来开发新一代国产光刻机的宝贵经验。
至于高端的……
池宏看向北方。
那是北大的方向。
那是俞清妍的地盘。
浸没式光刻机的核心技术,还有那个虚无缥缈的EUV,都在那边的实验室里。
“这边交给你们,数据整理好,发给新加坡那边做对比。”
“我有事,先走了。”
章朔正处于亢奋状态,也没多问,挥挥手:
“老板慢走!这儿有我,您放心!”
……
走出实验室,冷风一吹,池宏紧了紧风衣。
兜里的手机震动个不停。
拿出来一看。
全是沈韵诗的未接来电,还有十几条信息。
【老板,你在哪?】
【财务那边的报表出来了,现金流有点紧。】
【光刻机项目的后续投入太大,手机这边的回款虽然快,但也被吃得差不多了。】
【还有,券商那边来人了,说要核对上市前的最后资产清单。】
【速回电话!!!】
隔着屏幕,池宏都能感觉到沈大管家那种抓狂的情绪。
确实。
这半年,池塘科技就像是一头吞金兽。
几十亿砸进光刻机项目,那是在烧钱,不是在花钱。
三青半导体那边,卖芯片的钱,出于安全的考虑,暂时不能回收。
毕竟美国佬盯得紧,得缓一缓。
而新一代小池手机虽然卖得好,但也架不住这么造。
池宏回了个电话。
“喂,沈总。”
“我的大老板!您终于肯接电话了?”
沈韵诗的声音听起来有点哑,背景音里全是翻纸的声音。
“再不接电话,我就要把公司的打印机卖了抵债了。”
“没那么夸张吧?”池宏笑了笑,走向停车场。
“怎么不夸张?”
沈韵诗叹了口气。
“你知道咱们上个月花了多少钱吗?”
“三个亿。”
“美金。”
“这还不算接下来要给国内这几个研究所的横向课题费。”
“老板,虽然咱们手机卖得好,但地主家也没有余粮啊。”
“而且上市的辅导期,财务数据得好看点,现在的现金流……有点难看。”
池宏坐进车里,发动引擎。
“放心。”
“只要过了这个坎,就是坦途。”
“28纳米的芯片已经量产了,虽然现在还得放在俞清妍公司。”
“但早晚能拿回来。”
“有空我去问问郝律师,看看有什么办法转移,到时候现金流立马就能回正。”
“行了,别担心钱的事。”
“只要公司一上市,融资通道打开,这都不是问题。”
“上市的时间定了吗?”
“定了。”沈韵诗说道,“券商建议在春节前,那是窗口期。”
“2009年1月?”
“对。”
“好。”
池宏挂断电话。
还有几个月。
只要撑过这几个月,池塘科技将完成从独角兽到巨头的最后一跃。
到时候,钱就不是问题了。
……
北大,物理楼。
红砖绿瓦,未名湖畔。
比起青华那种严谨、硬朗的工科气质,北大这边总是透着股子散漫的自由。
就连路过的学生,走路都带着股子思考宇宙真理的劲儿。
池宏轻车熟路地上了楼。
现在的俞清妍,也成了大老板。
毕竟论文和成果都是出类拔萃的。
这位北大最年轻的正教授,也成了国家重点实验室的负责人。
手底下管着一百多号人,手里捏着好几个亿的经费。
其中三个亿,还是池宏以“池塘科技”名义注资的横向课题。
名目是:【极紫外光源物理机制研究】。
推开实验室的门。
一股冷气扑面而来。
这里比青华那边安静得多。
没有机器的轰鸣,只有键盘的敲击声和偶尔传来的低语。
一群戴着厚底眼镜的学生正对着屏幕上的复杂公式发呆。
看到池宏进来,几个认识他的学生赶紧站起来打招呼。
“池总好!”
“池教授好!”
“池师叔好!”
这称呼,乱七八糟。
但他们看池宏的眼神,貌似有些……
狂热?
不过作为他们的金主,貌似也可以理解。
池宏摆摆手,示意他们继续。
他径直走向里面的独立办公室。
门虚掩着。
池宏推门进去,差点被地上的书绊倒。
屋里乱得像个旧书摊。
到处都是书,图纸,还有草稿纸。
唯独办公桌那一小块地方是干净的。
俞清妍正坐在桌后,盯着电脑屏幕,眉头微皱。
她今天没穿白大褂,穿了件灰色的高领毛衣,外面罩了件风衣。
头发随意地挽着,几缕碎发垂在耳边。
看着有点慵懒,又透着股子拒人千里的冷艳。
“来了?”
她头也没抬,手指在键盘上敲得飞快。
“坐。”
指了指对面那张堆满了论文的椅子。
池宏把那堆书搬到地上,一屁股坐下。
“我说俞大教授,你这也太寒碜了。”
池宏四下打量。
“好歹也是手握几个亿经费的大项目负责人,能不能请几个保洁整理一下?”
“没空。”
俞清妍按下回车,终于抬起头。
金丝眼镜后的眸子,亮得吓人。
“我的东西,不喜欢别人动。”
“有那时间,不如多算两个方程。”
她把电脑屏幕转过来。
“看看这个。”
屏幕上是一个复杂的波形图。
“这是EUV光源的模拟数据。”
俞清妍指着那个尖峰。
“我们在锡液滴被激光轰击的瞬间,捕捉到了一种奇异的能量跃迁。”
“这种跃迁产生的极紫外光,纯度比ASML理论模型里的还要高15%。”
池宏眼睛一亮。
“怎么做到的?”
“加了点料。”
俞清妍嘴角微微上扬,露出一丝狡黠。
“我们在锡液滴里,掺杂了微量的……钆。”
“利用钆的同位素效应,稳定了等离子体的湍流。”
“这想法……绝了。”
池宏由衷赞叹。
ASML一直死磕纯锡技术,没想到俞清妍另辟蹊径,搞起了合金配方。
这就是物理学家的直觉。
他们看问题的角度,跟工程师完全不一样。
“不过,这还只是模拟。”
俞清妍收回电脑。
“要想做实验,得烧钱。”
“那台高能二氧化碳激光器,光是电费,一天就得几十万。”
“还有钆同位素,那玩意儿比黄金还贵。”
她伸出手。
白皙的手掌摊开在池宏面前。
“钱呢?”
池宏叹了口气,从怀里掏出盖了章的横向课题合同,拍在她手里。
“三亿。”
“这是池塘科技这一季度所有的流动资金了。”
“省着点花。”
俞清妍看了一眼数字,满意地掏出钢笔,拧开笔盖。
“够烧两个月了。”