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第三百九十五章 量产开始

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  台下无比安静。

  只有笔尖在纸上飞快摩擦的沙沙声。

  章朔记笔记的手都在抖。

  “神了……”

  他喃喃自语。

  “我们之前一直在死磕光路校准,原来根子在热力学上!”

  “这思路,简直绝了!”

  李文斌也是一脸恍然大悟。

  “怪不得!怪不得我们在仿真的时候总是觉得边缘数据不对劲!”

  “原来是该死的温差!”

  梁猛松越讲越兴奋。

  他脱掉了夹克,卷起袖子,在那台老机器上爬上爬下。

  “还有这个,显影液的喷嘴角度。”

  “教科书上说要垂直喷射。”

  “那是骗小孩的。”

  “实际上,要倾斜15度,并且带旋转。”

  “为什么?”

  “因为只有这样,才能把那些深孔里的残胶给‘旋’出来!”

  “就像是……”

  他做了个掏耳朵的动作。

  “掏得干干净净。”

  形象,生动,直击要害。

  俞清妍停下了笔,看着讲台上那个神采飞扬的老人。

  她推了推眼镜,在笔记本上写下了一行备注:

  【非线性流体动力学在微观刻蚀中的应用实例——验证完毕。可行性:100%。】

  她在心里默默赞叹:这不仅仅是经验,这已经是直觉了。

  这种对微观物理过程的直观把握,是任何公式都无法替代的。

  “和他很像。”她望了眼后排。

  池宏坐在那里,正在认真听讲。

  看着这个被台积电抛弃、被三星轻视的中年人,此刻却像是回到了十八岁。

  那种对技术纯粹的热爱,那种毫无保留的倾囊相授。

  这就是大师风范。

  “看来,这一步棋,走对了。”

  池宏嘴角微微上扬。

  有了这堂课,有了这些“悟性极高”的学生。

  新加坡那边的那几台机器,很快就要忙起来了。

  ……

  课程一直持续到了深夜。

  没人喊累,没人想走。

  甚至连午饭都是叫的外卖,大家一边啃着汉堡,一边围着梁猛松问东问西。

  “梁老师,那个驻波效应怎么消除?”

  “用抗反射涂层(BARC),但要注意厚度,要是λ/4的奇数倍。”

  “梁老师,刻蚀的时候侧壁总是有缺口怎么办?”

  “那是聚合物沉积不够,加点碳氢气体,把侧壁‘糊’上一层保护膜。”

  每一个问题,梁猛松都能信手拈来,给出最直接、最落地的解决方案。

  这是几十年的经验积累。

  这是无数次失败喂出来的直觉。

  书本上学不到,论文里写不出。

  只有在这种面对面的传承中,才能流淌进这些年轻工程师的血液里。

  直到凌晨两点。

  梁猛松嗓子都哑了,喝光了最后一口水。

  “行了。”

  他摆摆手,一脸疲惫却满足。

  “今天就到这儿吧。”

  “原理我都讲透了。”

  “至于怎么干……”

  他看了一眼章朔和李文斌。

  “你们都是聪明人,回去自己琢磨琢磨。”

  “别给我丢人。”

  “是!老师!”

  几人齐刷刷地站起来,鞠躬致谢。

  这不是客套,是发自内心的尊师重道。

  “好了,散了吧。”

  池宏站起身,拍了拍手。

  “大家回去好好消化一下。”

  “另外……”

  他看了一眼墙上的日历。

  “离下一次发货,还有半个月。”

  “我希望到时候,我们能给未来的客户,一份新的惊喜。”

  众人相视一笑。

  眼神里全是藏不住的战意。

  “放心吧老板!”

  章朔把笔记本一合,抱在怀里。

  “有了这本秘籍,我一定能把28纳米给刻出来!”

  ……

  半个月后。

  新加坡,樟宜工业园。

  三青半导体。

  巨大的无尘车间里,气氛紧张到了极点。

  池宏、俞清妍、章朔、李文斌……

  除了受竞业协议限制的梁猛松之外,所有核心成员全员到齐。

  虽然梁猛松人没来,但他的“灵魂”——

  那些写满了笔记的图纸和录音,已经深深地刻在了每个人的脑子里。

  “各项参数检查完毕。”

  作为主力的章朔站在主控台前,声音有些发紧。

  他知道这次机会来之不易,梁教授的每一句话他都背得滚瓜烂熟。

  现在,就是检验成果的时候了。

  如果失败了,不仅对不起老板的信任,更对不起梁教授的倾囊相授。

  “光源功率稳定。”

  “浸没液流速……已按照梁教授的建议,调整了流场模型。”

  “边缘假人图案已添加。”

  “退火温度曲线……已修正为尖峰模式。”

  他转头看向池宏。

  “老板,可以开始了吗?”

  池宏站在观察窗前,看着那三台正在预热的ASML光刻机。

  它们就像是三头即将苏醒的巨兽。

  这一次,它们不再是只会蛮干的铁疙瘩。

  它们被注入了智慧。

  被注入了华夏工程师的巧思和汗水。

  “开始。”

  池宏按下通话键。

  “全线启动。”

  “嗡——”

  机器轰鸣。

  机械臂舞动,将一片片晶圆送入腹中。

  激光闪烁。

  水流循环。

  一切都显得那么井然有序,那么……理所当然。

  十分钟后。

  第一片晶圆下线。

  没有像上次那样急着送去检测。

  因为章朔看了一眼在线监测数据,心里就已经有了底。

  那是完美的波形。

  没有任何报错。

  “继续!”

  “第二片!”

  “第三片!”

  ……

  一个小时后。

  一百片晶圆,整整齐齐地码放在晶圆盒里。

  章朔深吸一口气,随机抽取了一片,送入电子显微镜。

  屏幕亮起。

  那是一幅令人窒息的微观画卷。

  线条笔直如刀切,边缘锐利如斧凿。

  没有粘连,没有断裂,没有倒塌。

  最关键的是——

  那个曾经让他们头疼不已的边缘形变,彻底消失了。

  每一颗晶体管,无论是位于晶圆中心,还是位于最边缘,都保持着惊人的一致性。

  “良率统计……”

  测试员的声音在颤抖。

  屏幕上的数字疯狂跳动,最终定格。

  【Batch Yield(批次良率):98.5%】

  “哗——”

  整个车间沸腾了。

  帽子被抛向空中,记录本漫天飞舞。

  章朔一把抱住身边的李文斌,两个大男人哭得像个孩子。

  这不仅仅是一个数字,这是他们这几个月来没日没夜奋斗的最好回报。

  是他们证明自己不比任何人差的铁证!

  98.5%!

  这不仅仅是合格。

  这是顶级!

  哪怕是台积电最成熟的产线,良率也不过如此!

  他们做到了。

  用一群“乌合之众”,用几台拼凑起来的机器,用一个没到场的老师的指导。

  干翻了所谓的“良率爬坡期”。

  一步登顶!

  “赢了!”

  顾天冲着手机摄像头比了个大大的V字。

  “梁老师!我们赢了!”

  俞清妍站在池宏身边,看着屏幕上的数据,嘴角勾起一抹淡淡的笑。

  “物理学是对的。”

  “梁教授也是对的。”

  “你也是对的。”

  池宏没有说话。

  他看着那些欢呼的人群,看着那一盒盒代表着财富和实力的晶圆。

  他拿出手机,拍了一张良率报告的照片。

  然后,发了一条短信。

  收件人:梁猛松。

  内容只有一个数字:

  【98.5%】。

  几秒钟后。

  手机震动了一下。

  回信来了。

  只有三个字:

  【知道了。】

  虽然简短,虽然冷淡。

  但池宏能想象出,在几千公里外的帝都,那个倔强的中年人,此刻一定正躲在办公室里,看着手机屏幕,笑得满脸褶子。

  “老板。”

  章朔擦干眼泪,跑过来。

  “咱们是不是该庆祝一下?”

  “这可是28纳米量产啊!全世界都没几家能做到的!”

  “是不是该发个公告?震慑一下那些还在看咱们笑话的人?”

  池宏收起手机,摇了摇头。

  “不急。”

  “真正的震慑,不是靠嘴说的。”

  他走到窗前,看着远处繁忙的港口。

  一艘艘巨轮正整装待发。

  “把货发出去。”

  池宏的声音很轻,却透着一股子寒意。

  “发给谁?”章朔问。

  “三星。”

  池宏笑了。

  他利用了本属于三星的人,成为了三星不可缺少的供应商。

  “告诉那个德国人德里克。”

  “让他带着这批货,再去一趟首尔。”

  “就说……”

  “这是我们三青半导体的‘诚意’。”

  “良率稳定,供货充足,价格……再降5%。”

  “我要让朴秉宪那帮人,看着这批芯片之后——”

  “彻底放弃自研的打算。”

  “我要让他们知道。”

  “他们错过的,不仅仅是一个梁猛松。”

  “他们错过的,将是一个时代。”

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