台下无比安静。
只有笔尖在纸上飞快摩擦的沙沙声。
章朔记笔记的手都在抖。
“神了……”
他喃喃自语。
“我们之前一直在死磕光路校准,原来根子在热力学上!”
“这思路,简直绝了!”
李文斌也是一脸恍然大悟。
“怪不得!怪不得我们在仿真的时候总是觉得边缘数据不对劲!”
“原来是该死的温差!”
梁猛松越讲越兴奋。
他脱掉了夹克,卷起袖子,在那台老机器上爬上爬下。
“还有这个,显影液的喷嘴角度。”
“教科书上说要垂直喷射。”
“那是骗小孩的。”
“实际上,要倾斜15度,并且带旋转。”
“为什么?”
“因为只有这样,才能把那些深孔里的残胶给‘旋’出来!”
“就像是……”
他做了个掏耳朵的动作。
“掏得干干净净。”
形象,生动,直击要害。
俞清妍停下了笔,看着讲台上那个神采飞扬的老人。
她推了推眼镜,在笔记本上写下了一行备注:
【非线性流体动力学在微观刻蚀中的应用实例——验证完毕。可行性:100%。】
她在心里默默赞叹:这不仅仅是经验,这已经是直觉了。
这种对微观物理过程的直观把握,是任何公式都无法替代的。
“和他很像。”她望了眼后排。
池宏坐在那里,正在认真听讲。
看着这个被台积电抛弃、被三星轻视的中年人,此刻却像是回到了十八岁。
那种对技术纯粹的热爱,那种毫无保留的倾囊相授。
这就是大师风范。
“看来,这一步棋,走对了。”
池宏嘴角微微上扬。
有了这堂课,有了这些“悟性极高”的学生。
新加坡那边的那几台机器,很快就要忙起来了。
……
课程一直持续到了深夜。
没人喊累,没人想走。
甚至连午饭都是叫的外卖,大家一边啃着汉堡,一边围着梁猛松问东问西。
“梁老师,那个驻波效应怎么消除?”
“用抗反射涂层(BARC),但要注意厚度,要是λ/4的奇数倍。”
“梁老师,刻蚀的时候侧壁总是有缺口怎么办?”
“那是聚合物沉积不够,加点碳氢气体,把侧壁‘糊’上一层保护膜。”
每一个问题,梁猛松都能信手拈来,给出最直接、最落地的解决方案。
这是几十年的经验积累。
这是无数次失败喂出来的直觉。
书本上学不到,论文里写不出。
只有在这种面对面的传承中,才能流淌进这些年轻工程师的血液里。
直到凌晨两点。
梁猛松嗓子都哑了,喝光了最后一口水。
“行了。”
他摆摆手,一脸疲惫却满足。
“今天就到这儿吧。”
“原理我都讲透了。”
“至于怎么干……”
他看了一眼章朔和李文斌。
“你们都是聪明人,回去自己琢磨琢磨。”
“别给我丢人。”
“是!老师!”
几人齐刷刷地站起来,鞠躬致谢。
这不是客套,是发自内心的尊师重道。
“好了,散了吧。”
池宏站起身,拍了拍手。
“大家回去好好消化一下。”
“另外……”
他看了一眼墙上的日历。
“离下一次发货,还有半个月。”
“我希望到时候,我们能给未来的客户,一份新的惊喜。”
众人相视一笑。
眼神里全是藏不住的战意。
“放心吧老板!”
章朔把笔记本一合,抱在怀里。
“有了这本秘籍,我一定能把28纳米给刻出来!”
……
半个月后。
新加坡,樟宜工业园。
三青半导体。
巨大的无尘车间里,气氛紧张到了极点。
池宏、俞清妍、章朔、李文斌……
除了受竞业协议限制的梁猛松之外,所有核心成员全员到齐。
虽然梁猛松人没来,但他的“灵魂”——
那些写满了笔记的图纸和录音,已经深深地刻在了每个人的脑子里。
“各项参数检查完毕。”
作为主力的章朔站在主控台前,声音有些发紧。
他知道这次机会来之不易,梁教授的每一句话他都背得滚瓜烂熟。
现在,就是检验成果的时候了。
如果失败了,不仅对不起老板的信任,更对不起梁教授的倾囊相授。
“光源功率稳定。”
“浸没液流速……已按照梁教授的建议,调整了流场模型。”
“边缘假人图案已添加。”
“退火温度曲线……已修正为尖峰模式。”
他转头看向池宏。
“老板,可以开始了吗?”
池宏站在观察窗前,看着那三台正在预热的ASML光刻机。
它们就像是三头即将苏醒的巨兽。
这一次,它们不再是只会蛮干的铁疙瘩。
它们被注入了智慧。
被注入了华夏工程师的巧思和汗水。
“开始。”
池宏按下通话键。
“全线启动。”
“嗡——”
机器轰鸣。
机械臂舞动,将一片片晶圆送入腹中。
激光闪烁。
水流循环。
一切都显得那么井然有序,那么……理所当然。
十分钟后。
第一片晶圆下线。
没有像上次那样急着送去检测。
因为章朔看了一眼在线监测数据,心里就已经有了底。
那是完美的波形。
没有任何报错。
“继续!”
“第二片!”
“第三片!”
……
一个小时后。
一百片晶圆,整整齐齐地码放在晶圆盒里。
章朔深吸一口气,随机抽取了一片,送入电子显微镜。
屏幕亮起。
那是一幅令人窒息的微观画卷。
线条笔直如刀切,边缘锐利如斧凿。
没有粘连,没有断裂,没有倒塌。
最关键的是——
那个曾经让他们头疼不已的边缘形变,彻底消失了。
每一颗晶体管,无论是位于晶圆中心,还是位于最边缘,都保持着惊人的一致性。
“良率统计……”
测试员的声音在颤抖。
屏幕上的数字疯狂跳动,最终定格。
【Batch Yield(批次良率):98.5%】
“哗——”
整个车间沸腾了。
帽子被抛向空中,记录本漫天飞舞。
章朔一把抱住身边的李文斌,两个大男人哭得像个孩子。
这不仅仅是一个数字,这是他们这几个月来没日没夜奋斗的最好回报。
是他们证明自己不比任何人差的铁证!
98.5%!
这不仅仅是合格。
这是顶级!
哪怕是台积电最成熟的产线,良率也不过如此!
他们做到了。
用一群“乌合之众”,用几台拼凑起来的机器,用一个没到场的老师的指导。
干翻了所谓的“良率爬坡期”。
一步登顶!
“赢了!”
顾天冲着手机摄像头比了个大大的V字。
“梁老师!我们赢了!”
俞清妍站在池宏身边,看着屏幕上的数据,嘴角勾起一抹淡淡的笑。
“物理学是对的。”
“梁教授也是对的。”
“你也是对的。”
池宏没有说话。
他看着那些欢呼的人群,看着那一盒盒代表着财富和实力的晶圆。
他拿出手机,拍了一张良率报告的照片。
然后,发了一条短信。
收件人:梁猛松。
内容只有一个数字:
【98.5%】。
几秒钟后。
手机震动了一下。
回信来了。
只有三个字:
【知道了。】
虽然简短,虽然冷淡。
但池宏能想象出,在几千公里外的帝都,那个倔强的中年人,此刻一定正躲在办公室里,看着手机屏幕,笑得满脸褶子。
“老板。”
章朔擦干眼泪,跑过来。
“咱们是不是该庆祝一下?”
“这可是28纳米量产啊!全世界都没几家能做到的!”
“是不是该发个公告?震慑一下那些还在看咱们笑话的人?”
池宏收起手机,摇了摇头。
“不急。”
“真正的震慑,不是靠嘴说的。”
他走到窗前,看着远处繁忙的港口。
一艘艘巨轮正整装待发。
“把货发出去。”
池宏的声音很轻,却透着一股子寒意。
“发给谁?”章朔问。
“三星。”
池宏笑了。
他利用了本属于三星的人,成为了三星不可缺少的供应商。
“告诉那个德国人德里克。”
“让他带着这批货,再去一趟首尔。”
“就说……”
“这是我们三青半导体的‘诚意’。”
“良率稳定,供货充足,价格……再降5%。”
“我要让朴秉宪那帮人,看着这批芯片之后——”
“彻底放弃自研的打算。”
“我要让他们知道。”
“他们错过的,不仅仅是一个梁猛松。”
“他们错过的,将是一个时代。”