“跳过DUV的物理极限。”
池宏手里的笔继续移动，在白板的最右边，重重地写下了三个字母。
【EUV】。
俞清妍手中旋转的笔，停了。
“极紫外光刻？”
作为物理学家，她比任何人都清楚这三个字母背后的意义。
光刻机的光源波长，决定了制程的极限。
DUV使用的是193纳米的氟化氩激光，通过浸没式和多重曝光，勉强能做到28纳米，甚至7纳米（理论极限）。
但EUV……
那是13.5纳米的光。
那是接近X射线波段的光。
“你知道EUV光源怎么产生吧。”
俞清妍走到白板前，指着那个词。
“那不是灯泡，也不是激光器。”
“那是用高能二氧化碳激光，以每秒五万次的频率，轰击头发丝大小的锡液滴。”
“第一次轰击，把锡滴打成饼。”
“第二次轰击，把锡饼打成等离子体。”
“温度几十万度，比太阳表面还热。”
“然后，这种等离子体才会释放出13.5纳米的光。”
俞清妍看着池宏，眼神里满是不可思议。
“这在工程上，被称为‘不可能的奇迹’。”
“哪怕是ASML，集结了全欧洲最顶尖的大脑，搞了十几年，到现在原型机还没出实验室。”
“你要搞这个？”
“还要自研？”
面对俞清妍的质问，池宏笑了。
“凭我们没得选。”
池宏走到俞清妍面前，双手按住她的肩膀，让她坐下。
“清妍，你听我说。”
“DUV这条路，走到头了。”
“就算我们把这几台机器用到极致，也就是28纳米，顶天了14纳米。”
“再往下，多重曝光的成本会呈指数级上升，良率会低到令人发指。”
“而且，只要我们要买设备，美国人就会卡。”
“今天卡光刻机，明天卡光刻胶，后天卡零部件。”
“我们永远是被动挨打。”
池宏的眼神变得深邃。
“要想不被卡脖子。”
“就得换个赛道。”
“换一个他们也才刚刚起步，甚至还没完全跑通的赛道。”
“EUV。”
“这是唯一的弯道超车机会。”
“可是……”俞清妍咬着嘴唇。
“技术难度太大了，光源，镜头，反射镜……每一个都是世界级难题。”
“我知道。”
池宏转身，面对白板。
“确实很难。”
“不过……”
“有参考图就不一样了。”
池宏看着【百万销量】任务获得的史诗奖励——
【光刻机双工件台核心技术图纸（初级）】
还有【虎口夺金】任务获得的商城积分。
他按照图纸，试着在脑海中模拟着这个过程。
他在寻找那个“可行解”。
他在寻找那个物理学允许的、工程上可以实现的狭窄通道。
“只要控制住锡滴的初速度……”
“只要调整激光的脉冲波形……”
“只要把反射镜的冷却系统做成微通道结构……”
无数个参数在跳动。
终于。
一道稳定的、明亮的、持续的13.5纳米光束，在他的脑海中亮起。
那是希望的光。
池宏猛地睁开眼。
身体晃了晃，扶住桌子才没倒下。
“没事吧？”俞清妍赶紧扶住他。
“没事。”
池宏摆摆手，擦了一把汗。
他拿起笔，在白板上飞快地画了起来。
不再是概念图。
而是关键的结构图。
【LPP（激光等离子体）光源发生器结构草图】。
【双预脉冲激发布局】。
【碎屑收集器磁场设计】。
一个个具体的、可执行的工程方案，出现在白板上。
俞清妍看着那些图。
眼神变了。
从怀疑，到震惊，再到沉思。
她是行家。
她看得出，这些图不是乱画的。
这里面的每一个结构，都符合物理学原理。
虽然实现起来依然难如登天，但至少——
路，是有的。
“这……这是你想出来的？”
俞清妍指着那个磁场收集器的设计。
“利用洛伦兹力偏转锡碎屑，保护镜头……这想法太妙了！”
“站在巨人的肩膀上罢了。”
池宏不想解释太多。
“清妍，你看。”
“理论上，这是可行的。”
“工程上，虽然难，但不是死路。”
“我们华夏有最好的激光技术（神光计划），有最好的精密机械加工（航天），有最好的控制算法（池塘科技）。”
“只要把这些资源整合起来。”
“我们就能造出这颗‘工业皇冠上的钻石’。”
俞清妍沉默了许久。
她看着白板上那复杂的结构图，又看了看池宏那明亮的眼睛。
她感受到了那种疯狂的魅力。
那是科学家无法拒绝的诱惑——挑战未知。
“好。”
俞清妍深吸一口气，推了推眼镜。
“我帮你。”
“不过……”
她指了指外面。
“光靠我们俩不行。”
“光靠章朔他们也不行。”
“而且，这不是短期内能够完成的。”
“难道这段时间，这三台光刻机就这么放着？”
池宏笑了。
“当然不能。”
他拉过椅子坐下，喝了口水润润嗓子。
“制造国产光刻机，是一项长期工程。”
“不用急，慢慢来。”
“同时，新加坡这边不能停。”
“这公司和你，和华夏都没有瓜葛吧？”
“放心，之前按你的要求，都是马甲，很安全。”俞清妍轻轻点了点头。
“那就行了。”
“我们要把28纳米的良率跑通，跑稳。”
“虽然不能运回华夏，但我们可以卖给别国。”
“只要能赚钱，就能养活你这边的研发团队。”
“嗯。”俞清妍抿了抿嘴唇。
“不过，这里最贵的光刻机，都是你掏的钱……”
“放心，付款时没用公司账户，安全得很，ASML那帮人比我还谨慎。”池宏笑道。
“不是，我是说……”俞清妍道。
“用你几个亿的光刻机，造出来的芯片赚的钱，都在我公司……”
“什么你的我的。”池宏打断了她，轻轻摸了摸俞清妍的脸，柔声道：
“我们之间，无所谓的。”
俞清妍一愣，清冷的脸上飘起红云。
也是，换做是她，也觉得无所谓。
“不过……眼前要想量产，必须解决良率问题。”
“我们还需要一个人。”
池宏又再次陷入思考。
“一个擅长点石成金的魔术师。”
“那人，我亲自去请。”
……
第二天。
三青半导体，全体员工大会。
气氛依然有些低沉。
大家都在思考接下来前进的方向。
池宏走上讲台。
“各位。”
“我知道你们在担心什么。”
“美国人的威胁，确实是个麻烦。”
“但它挡不住我们。”
池宏的声音在实验室里回荡。
“我宣布两件事。”
“第一，新加坡这边不会关停。”
“非但不会停，我们还要扩建。”
“我会去请一位世界级的工艺大师来带领你们。”
“我们的目标，是在这里，把28纳米的良率做到99%！”
“这样，我们的28纳米芯片，哪怕不能直接回国，也能卖给其他国家，抢占市场！”
“原来是这样！”顾天立刻明白过来。
“只要不运回华夏，就无法证明三青半导体和华夏有联系。”
“美国再怎么无耻，也不能对协议外，又没有和华夏有交易的公司动手。”
“可是……”成旭开口道。
“虽然28纳米能够卖出去，但无法运回华夏，我们自己的产品还是用不了啊！”
团队成员立刻窃窃私语起来。
毕竟，他们的目的还是希望华夏自己能够享受到科技的红利。
但离了这批光刻机，28纳米造不出来。
“先等28纳米的良率上去，能量产后再说。”
“之后，我自有安排。”
池宏胸有成竹地说道。
“接下来，第二件事。”
池宏顿了顿。
“章工，李工，成教授，还有核心研发团队。”
“我不在的这段时间，你们跟着俞教授，全力研究，把光刻机的结构摸透。”
“之后，回国干大事。”
“回国干什么？”章朔忍不住问道。
“回去造个大家伙。”
池宏指了指身后的屏幕。
屏幕亮起。
一张巨大的、复杂的、充满了未来感的机器图纸出现在众人面前。
不是现在的DUV。
而是——
EUV光刻机概念图。
“我们要造这个。”
“既然美国人不让我们用别人的光刻机。”
“那我们就自己造！还要造世界上最先进的！”
全场哗然。
“老板，这……”
章朔站了起来，结结巴巴地说道。
“这……这相当于在头发丝上雕刻航母啊！”
“光靠我们一家公司，几百年也造不出来啊！”
“光源、镜头、工件台……每一个都是世界难题！”
“ASML可是集合了全西方的工业力量才搞出来的！”
这听起来太像天方夜谭了。
池宏没有辩解。
他从公文包里，拿出了一份文件。
红色的抬头。
那是庆功宴后，科技部颁发给他的任命书。
【半导体产业技术专家组组长】。
【负责协调全国科研力量进行技术攻关。】
“啪！”
池宏把文件重重地拍在桌子上。
“谁说只有我们一家？”
池宏抬起头。
“看清楚了。”
“这一次。”
“华夏科学院、航天集团、顶级高校、整个华夏的工业体系。”
“大家一起冲锋！”
“神光计划搞光源！”
“长春光机所搞镜头！”
“冰城工大搞工件台！”
“我们池塘科技搞算法和总装！”
“我就不信，集合十三亿人的智慧，造不出这一台机器！”
“比如……章工。”
“你原来工作的微电子所，就是个不错的合作对象。”