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第三百八十七章 28纳米芯片

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  “理论上。”

  这三个字,是工程师最爱也最恨的词。

  章朔虽然佩服,但老成持重的性格让他不得不泼点冷水。

  “池总,俞教授,这方案太激进了。”

  “这种多重曝光加上极限的光刻胶配比,只要有一个参数抖动,整片晶圆就废了。”

  “我们只有这几台机器,试错成本太高。”

  “而且……”

  章朔指了指车间里的温湿度计。

  “这里是临时改造的仓库,虽然那是无尘环境,但地基的微震动、供电的波动……”

  “哪怕是一辆卡车经过门口,都可能让28纳米的线条变成波浪线。”

  池宏站在主控台前,双手插在兜里,神色平静。

  “我知道。”

  “所以,这是一场攻坚战。”

  “我们不是要量产。”

  “我们是要证明——我们能做到。”

  他闭上眼。

  意识下沉。

  他进入了那个微观的世界。

  巨大的光刻机在他眼中变得透明。

  激光束像是一条条精准的光剑,穿过透镜,穿过水层,轰击在晶圆表面。

  光刻胶里的分子链在光子的撞击下断裂、重组。

  “这里……光强分布不均匀,需要补偿。”

  “那里……水流产生了微小的湍流,会产生气泡。”

  他在脑海中模拟着每一次曝光的过程。

  一遍。

  两遍。

  一百遍。

  失败,修正,再失败,再修正。

  直到找到那个最完美的参数组合。

  “调整光源功率,增加1.5%。”

  “水流速度,降低0.3米/秒。”

  “掩膜版位移补偿,向左修正2纳米。”

  池宏睁开眼,语速极快地下达指令。

  “输入参数。”

  “准备执行!”

  “既然有了理论,就动手去实践!”

  “我们做的,是目前无人做过的事情。”

  “失败是再正常不过的事。”

  “但只要我们成功一次,就离量产不远了。”

  此刻,不需要动员。

  因为他们现在做出来的任何芯片,都已经是世界第一。

  这着实激动人心。

  指令输入。

  机器轰鸣。

  巨大的机械臂开始舞动,将一片片晶圆送入曝光台。

  激光闪烁。

  那是人类工业文明最璀璨的火花。

  然而。

  现实并没有给他们面子。

  第一次尝试。

  “滴——”

  警报声响彻车间。

  第一片晶圆出来了。

  章朔满怀希望地把它送进电子显微镜。

  一秒钟后。

  他的脸白了。

  屏幕上,原本应该整齐划一的栅极线条,此刻像是一锅煮烂的面条。

  粘连、倒塌、断裂。

  惨不忍睹。

  “失败了……”

  章朔瘫坐在椅子上。

  “这根本不是芯片,这是废硅片。”

  “这就是浸没式的魔鬼——水。”

  俞清妍皱着眉,看着那些倒塌的线条。

  “水的表面张力太大了。”

  “在干燥的过程中,水把光刻胶拉倒了。”

  “这就是著名的‘图形倒塌’(Pattern Collapse)。”

  “还有气泡。”

  池宏指着屏幕上的一处黑斑。

  “水流速度太快,产生了微气泡,这些气泡就像透镜,把光折射歪了。”

  第二次尝试。

  调整了水流速度,改进了干燥工艺。

  结果:依然失败。

  这次不是倒塌,是“水痕缺陷”。

  水渍残留在晶圆上,留下了难看的斑点,直接导致短路。

  第三次。

  第四次。

  第十次……

  整整三天。

  实验室里的气氛压抑到了极点。

  废弃的晶圆堆成了小山。

  每一片废片,都像是一记耳光,抽在所有人的脸上。

  顾天顶着鸡窝头,眼圈黑得像熊猫,嘴里还在嚼着不知味的咖啡豆。

  “老板,这玩意儿太难了。”

  “算法没错,理论没错,但物理世界太特么不讲道理了!”

  “温度变了0.01度,焦距就偏了;水流稍微一抖,图形就花了。”

  “这根本就是在针尖上跳舞!”

  章朔更是绝望。

  “池总,放弃吧。”

  “28纳米,不是我们现在能碰的。”

  “没有几千次流片的积累,没有几百亿美金的砸进去,根本不可能跑通。”

  “ASML自己调这台机器都花了一年!”

  所有人都看着池宏。

  等待着那个“停止”的命令。

  然而。

  池宏没有说话。

  他走到光刻机前,闭上了眼睛。

  【维度缩放】。

  他再次进入了那个微观的世界。

  这一次,他看得很仔细。

  他看到了光刻胶分子在水压下的颤抖。

  看到了热量在透镜组里积聚,导致光路发生了微不可查的扭曲。

  “不是机器的问题。”

  池宏猛地睁开眼。

  “是我们太贪心了。”

  他走到控制台前,拿起笔,在参数表上狠狠划了一道。

  “我们一直在追求极致的速度,想把产率拉满。”

  “但现在的工艺窗口太窄了。”

  “降速。”

  池宏的声音冷冽。

  “把扫描速度降低50%。”

  “把水流喷射压力降低30%。”

  “牺牲产能,换精度!”

  “可是……”章朔急了,“这样一来,一片晶圆的生产时间要翻倍!成本会爆炸的!”

  “先解决‘有’,再解决‘快’!”

  池宏打断了他。

  “还有。”

  他转头看向俞清妍。

  “清妍,你的那个‘超材料透镜’理论。”

  “能不能反过来用?”

  “什么意思?”俞清妍一愣。

  “既然我们无法完全消除热畸变。”

  池宏指着镜头组。

  “那我们就在掩膜版上,预先画出‘畸变’的图形。”

  “就像哈哈镜一样,把歪掉的光,再歪回来!”

  这是一招险棋。

  计算量是天文数字。

  而且一旦算错,那就是全盘皆输。

  但俞清妍的眼睛亮了。

  “OPC(光学邻近效应修正)的极限应用?”

  “可以试。”

  顾天立刻会意,冲向电脑。

  “‘启明’的算力已全程到位!”

  “重算掩膜版!”

  又是三天的不眠不休。

  顾天的手指都要敲断了,俞清妍的眼镜片上全是雾气。

  终于。

  一个新的掩膜版数据生成了。

  “这是最后一次机会了。”

  池宏拿着那个数据盘,递给章朔。

  “我们的光刻胶只够跑这一批了。”

  章朔接过盘,手沉甸甸的。

  “加载。”

  “曝光。”

  机器再次轰鸣。

  这一次,速度慢了很多。

  慢得让人心焦。

  每一秒钟都像是一个世纪。

  所有人都屏住了呼吸,死死盯着出片口。

  “滴——”

  清脆的提示音,像是天籁。

  晶圆滑出。

  章朔捧着它,像是捧着刚出生的婴儿,颤巍巍地放到显微镜下。

  聚焦。

  放大。

  屏幕亮起。

  屏幕上。

  线条笔直,边缘锐利。

  没有倒塌,没有水痕。

  就像是上帝用尺子画出来的一样。

  “测量线宽!”

  章朔吼道,声音嘶哑。

  红色的测量线卡住栅极。

  读数跳动。

  【27.9 nm】。

  “成了!卧槽!成了!”

  顾天跳起来,抱住身边的柱子狂亲。

  章朔瘫坐在地上,眼泪夺眶而出。

  “28纳米……真的是28纳米……”

  这是目前世界上最先进的制程工艺。

  是英特尔和台积电还在尝试探索中的技术。

  在这一刻。

  在这个简陋的仓库里。

  被一群华夏人,搞出来了。

  “我们……我们超过了英特尔?”

  “我们超过了台积电?”

  有员工不敢相信地喃喃自语。

  章朔大喊。

  “只要给我们时间优化,咱们就是世界第一!”

  “咱们站在巅峰了!”

  狂喜、激动。

  甚至有人相拥而泣。

  这是压抑了太久之后的爆发。

  这是被封锁、被嘲笑、被轻视之后的绝地反击。

  “老板!老板!”

  顾天冲到池宏面前,一脸的兴奋。

  “咱们赶紧补货吧!让机器开足马力!”

  “满负荷生产!”

  “然后把这些芯片运回去!”

  “哪怕良率低点也没事,咱们可以挑片!”

  “只要装在下一代‘小池手机’上,哪怕只有一万台,也能彻底碾压苹果!”

  “我要让那帮老外知道,咱们华夏人的芯片,才是最牛逼的!”

  所有人都看向池宏。

  眼神里充满了期待。

  他们仿佛已经看到了小池手机横扫全球,看到了华夏芯扬眉吐气的未来。

  然而。

  池宏没有笑。

  他站在人群中央,面色凝重。

  他看着那块代表着世界顶尖水平的晶圆。

  那上面流淌的光泽,美丽,却也危险。

  这一切都太顺了。

  太顺的时候,容易忽视一些危机。

  他有了前世的阅历,也有了张如京和江尚舟给的建议。

  不能急。

  绝对不能急。

  “不行。”

  池宏缓缓吐出两个字。

  声音不大,却像是一盆冰水,浇灭了众人的狂热。

  “就算这批货做出来——”

  池宏抬起头,目光扫过在场的每一个人。

  “也不能运往华夏。”

  “必须要选择……更稳妥的办法。”

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