“理论上。”
这三个字,是工程师最爱也最恨的词。
章朔虽然佩服,但老成持重的性格让他不得不泼点冷水。
“池总,俞教授,这方案太激进了。”
“这种多重曝光加上极限的光刻胶配比,只要有一个参数抖动,整片晶圆就废了。”
“我们只有这几台机器,试错成本太高。”
“而且……”
章朔指了指车间里的温湿度计。
“这里是临时改造的仓库,虽然那是无尘环境,但地基的微震动、供电的波动……”
“哪怕是一辆卡车经过门口,都可能让28纳米的线条变成波浪线。”
池宏站在主控台前,双手插在兜里,神色平静。
“我知道。”
“所以,这是一场攻坚战。”
“我们不是要量产。”
“我们是要证明——我们能做到。”
他闭上眼。
意识下沉。
他进入了那个微观的世界。
巨大的光刻机在他眼中变得透明。
激光束像是一条条精准的光剑,穿过透镜,穿过水层,轰击在晶圆表面。
光刻胶里的分子链在光子的撞击下断裂、重组。
“这里……光强分布不均匀,需要补偿。”
“那里……水流产生了微小的湍流,会产生气泡。”
他在脑海中模拟着每一次曝光的过程。
一遍。
两遍。
一百遍。
失败,修正,再失败,再修正。
直到找到那个最完美的参数组合。
“调整光源功率,增加1.5%。”
“水流速度,降低0.3米/秒。”
“掩膜版位移补偿,向左修正2纳米。”
池宏睁开眼,语速极快地下达指令。
“输入参数。”
“准备执行!”
“既然有了理论,就动手去实践!”
“我们做的,是目前无人做过的事情。”
“失败是再正常不过的事。”
“但只要我们成功一次,就离量产不远了。”
此刻,不需要动员。
因为他们现在做出来的任何芯片,都已经是世界第一。
这着实激动人心。
指令输入。
机器轰鸣。
巨大的机械臂开始舞动,将一片片晶圆送入曝光台。
激光闪烁。
那是人类工业文明最璀璨的火花。
然而。
现实并没有给他们面子。
第一次尝试。
“滴——”
警报声响彻车间。
第一片晶圆出来了。
章朔满怀希望地把它送进电子显微镜。
一秒钟后。
他的脸白了。
屏幕上,原本应该整齐划一的栅极线条,此刻像是一锅煮烂的面条。
粘连、倒塌、断裂。
惨不忍睹。
“失败了……”
章朔瘫坐在椅子上。
“这根本不是芯片,这是废硅片。”
“这就是浸没式的魔鬼——水。”
俞清妍皱着眉,看着那些倒塌的线条。
“水的表面张力太大了。”
“在干燥的过程中,水把光刻胶拉倒了。”
“这就是著名的‘图形倒塌’(Pattern Collapse)。”
“还有气泡。”
池宏指着屏幕上的一处黑斑。
“水流速度太快,产生了微气泡,这些气泡就像透镜,把光折射歪了。”
第二次尝试。
调整了水流速度,改进了干燥工艺。
结果:依然失败。
这次不是倒塌,是“水痕缺陷”。
水渍残留在晶圆上,留下了难看的斑点,直接导致短路。
第三次。
第四次。
第十次……
整整三天。
实验室里的气氛压抑到了极点。
废弃的晶圆堆成了小山。
每一片废片,都像是一记耳光,抽在所有人的脸上。
顾天顶着鸡窝头,眼圈黑得像熊猫,嘴里还在嚼着不知味的咖啡豆。
“老板,这玩意儿太难了。”
“算法没错,理论没错,但物理世界太特么不讲道理了!”
“温度变了0.01度,焦距就偏了;水流稍微一抖,图形就花了。”
“这根本就是在针尖上跳舞!”
章朔更是绝望。
“池总,放弃吧。”
“28纳米,不是我们现在能碰的。”
“没有几千次流片的积累,没有几百亿美金的砸进去,根本不可能跑通。”
“ASML自己调这台机器都花了一年!”
所有人都看着池宏。
等待着那个“停止”的命令。
然而。
池宏没有说话。
他走到光刻机前,闭上了眼睛。
【维度缩放】。
他再次进入了那个微观的世界。
这一次,他看得很仔细。
他看到了光刻胶分子在水压下的颤抖。
看到了热量在透镜组里积聚,导致光路发生了微不可查的扭曲。
“不是机器的问题。”
池宏猛地睁开眼。
“是我们太贪心了。”
他走到控制台前,拿起笔,在参数表上狠狠划了一道。
“我们一直在追求极致的速度,想把产率拉满。”
“但现在的工艺窗口太窄了。”
“降速。”
池宏的声音冷冽。
“把扫描速度降低50%。”
“把水流喷射压力降低30%。”
“牺牲产能,换精度!”
“可是……”章朔急了,“这样一来,一片晶圆的生产时间要翻倍!成本会爆炸的!”
“先解决‘有’,再解决‘快’!”
池宏打断了他。
“还有。”
他转头看向俞清妍。
“清妍,你的那个‘超材料透镜’理论。”
“能不能反过来用?”
“什么意思?”俞清妍一愣。
“既然我们无法完全消除热畸变。”
池宏指着镜头组。
“那我们就在掩膜版上,预先画出‘畸变’的图形。”
“就像哈哈镜一样,把歪掉的光,再歪回来!”
这是一招险棋。
计算量是天文数字。
而且一旦算错,那就是全盘皆输。
但俞清妍的眼睛亮了。
“OPC(光学邻近效应修正)的极限应用?”
“可以试。”
顾天立刻会意,冲向电脑。
“‘启明’的算力已全程到位!”
“重算掩膜版!”
又是三天的不眠不休。
顾天的手指都要敲断了,俞清妍的眼镜片上全是雾气。
终于。
一个新的掩膜版数据生成了。
“这是最后一次机会了。”
池宏拿着那个数据盘,递给章朔。
“我们的光刻胶只够跑这一批了。”
章朔接过盘,手沉甸甸的。
“加载。”
“曝光。”
机器再次轰鸣。
这一次,速度慢了很多。
慢得让人心焦。
每一秒钟都像是一个世纪。
所有人都屏住了呼吸,死死盯着出片口。
“滴——”
清脆的提示音,像是天籁。
晶圆滑出。
章朔捧着它,像是捧着刚出生的婴儿,颤巍巍地放到显微镜下。
聚焦。
放大。
屏幕亮起。
屏幕上。
线条笔直,边缘锐利。
没有倒塌,没有水痕。
就像是上帝用尺子画出来的一样。
“测量线宽!”
章朔吼道,声音嘶哑。
红色的测量线卡住栅极。
读数跳动。
【27.9 nm】。
“成了!卧槽!成了!”
顾天跳起来,抱住身边的柱子狂亲。
章朔瘫坐在地上,眼泪夺眶而出。
“28纳米……真的是28纳米……”
这是目前世界上最先进的制程工艺。
是英特尔和台积电还在尝试探索中的技术。
在这一刻。
在这个简陋的仓库里。
被一群华夏人,搞出来了。
“我们……我们超过了英特尔?”
“我们超过了台积电?”
有员工不敢相信地喃喃自语。
章朔大喊。
“只要给我们时间优化,咱们就是世界第一!”
“咱们站在巅峰了!”
狂喜、激动。
甚至有人相拥而泣。
这是压抑了太久之后的爆发。
这是被封锁、被嘲笑、被轻视之后的绝地反击。
“老板!老板!”
顾天冲到池宏面前,一脸的兴奋。
“咱们赶紧补货吧!让机器开足马力!”
“满负荷生产!”
“然后把这些芯片运回去!”
“哪怕良率低点也没事,咱们可以挑片!”
“只要装在下一代‘小池手机’上,哪怕只有一万台,也能彻底碾压苹果!”
“我要让那帮老外知道,咱们华夏人的芯片,才是最牛逼的!”
所有人都看向池宏。
眼神里充满了期待。
他们仿佛已经看到了小池手机横扫全球,看到了华夏芯扬眉吐气的未来。
然而。
池宏没有笑。
他站在人群中央,面色凝重。
他看着那块代表着世界顶尖水平的晶圆。
那上面流淌的光泽,美丽,却也危险。
这一切都太顺了。
太顺的时候,容易忽视一些危机。
他有了前世的阅历,也有了张如京和江尚舟给的建议。
不能急。
绝对不能急。
“不行。”
池宏缓缓吐出两个字。
声音不大,却像是一盆冰水,浇灭了众人的狂热。
“就算这批货做出来——”
池宏抬起头,目光扫过在场的每一个人。
“也不能运往华夏。”
“必须要选择……更稳妥的办法。”