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第244章 流片数据出炉,光刻机主体成功

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  或许是看到氛围太过严肃,这个时候一直没发言的余高远,终于舍得主动开口。

  “真让人惊心动魄啊,不知道有多久,没经历过这种心情了。”

  说这句话时,故作轻松的语气,和脸上堆出的微笑,为大家的情绪增添一些不同的波动。

  “大家的压力确实不小。”贺鹏涛点点头附和句。

  前脚话音刚落,身旁科学院化学研究所的周启深院士,也接过话茬道:“国家有徐总师这样的天才,我相信逐光极紫外光刻机,肯定能光刻出良好的各层图案。”

  他比贺鹏涛和丁顺安小上几岁,在光酸剂与树脂等分子设计,以及合成与作用机理等研究领域,位于国内领先地位。

  对国家化学材料的发展,做出过重要贡献。

  此次整合国内资源,成立国家集成电路制造研发创新中心,他所在化学研究所,也被纳入整合范围。

  负责国产高端光刻胶的研发工作。

  其中值得一提的是,徐铭擅长数学物理甚至信息学科,凭借自身实力和天赋,带领光刻机和芯片设计软件,快速实现技术迭代。

  以至于经常能在网上看到,又有新的进展新闻。

  这对他们光刻胶项目组团队来讲,无疑有着巨大的压力。

  只能依靠自身。

  尽最大努力,保证国产高端光刻胶的研发,做到不拖其他项目部门的后腿。

  毕竟大家所在工作属于一个整体,任何人掉队都不行。

  幸好他们的运气还算不错,在首台逐光极紫外光刻机组装完前夕,成功合成一种效果更好的光刻胶。

  远超过当前国内的光刻胶水平。

  而正当他思维快速运转,脑海中一直想着流片结果时,耳旁突然响起徐铭的熟悉声音。

  “我们要看的,不是能不能做出图形,而是现实与预测的偏差,究竟有多少原子。”徐铭看向周启深院士,神情很是认真的接话,他对流片数据的要求,远比现场人要高。

  如果说其他人的目标,是芯片制造技术,追赶上阿斯麦设备的产品。

  那么他则是要超过。

  况且在付出这么多努力和心血后,想达成这一点,也并非是什么不可能做到的事。

  余高远对徐铭的了解,无疑要比现场任何人都深。

  他在听到这句话,当即应和道:“有你的这句话,我对流片结果可是更加期待了,看来又要给我惊喜。”

  众人之间的交流并未持续多久,很快就又被流片过程吸引。

  目睹百分之百国产化,正在运行的逐光极紫外光刻机,团队士气越发高昂。

  由于整个流片过程,包括光刻和刻蚀,以及沉积等数十道工序,且被严密监控,因此往往要历时数周时间才能结束。

  面对这种情况,大家毅然留在微电子装备。

  都想第一时间看到流片数据,也好见证国内芯片制造历时上,真正里程碑时刻。

  ……

  很快来到月底。

  高考结束分数陆续出炉,准大学生开始填写志愿,选择自己心仪的高校专业。

  如果这时候去参加,各地举行的招生活动,则会发现燕大所在展台位置,基本上一个学生和家长都没有,但偏偏被旁边的箐华等,学校招生老师羡慕的不行。

  没办法。

  正所谓树的影,人的名。

  在徐铭这张金字招牌下,燕大已然成为,全国最顶尖的高校。

  彻底把箐华甩在后面。

  甚至放眼国际,燕大也的地位排名,也在以肉眼可见的速度,每年持续上涨。

  特别是有着‘疯人院’美称的数院。

  有这些因素在,能够上燕大的学生,根本不会纠结犹豫。

  自然用不着参加这种活动。

  放前几年的时候,徐铭偶尔还会帮忙为学校招生宣传,毕竟在他那一大堆头衔中,最开始的可是燕大数院教授。

  不过今年肯定是没有这个时间。

  6月27日,周二,微电子装备集团总部。

  今天光学测量实验室内,要比以往任何时候都要热闹,尤其人员上更是打破记录。

  因为在外面房间内,愣是聚集了大十几个身影。

  且有将近一半,都为院士。

  目前用于流片的晶圆片已完成制造,被送入了光学测量实验室,进行关键的光学测量和电子显微镜检测,这能够得到详细的流片数据,以及芯片良品率。

  众人眼下待在这里,正是想第一时间知道结果。

  明明面积不大的房间内,大家几乎紧挨着坐下,却愣是安静的很。

  纷纷保持着沉默。

  谁都没有率先开口打破僵局。

  显然心情都很紧张。

  直到房间门外突然响起一阵敲门声,瞬间让众人同时抬起视线望去,心脏仿佛都跳快了不少。

  平时一向稳重的院长余高远,更是首先脱口喊话。

  “进来。”

  穿着实验服的科研人员推门进来,手中拿着份崭新出炉的报告,脚步才刚迈进房间,便迫不及待开口汇报。

  “徐总师,各位院士领导。”

  “晶圆片的光学测量数据结果出来了……”

  “直接讲吧。”徐铭闻言立刻出声,把对方的话给打断。

  而这个时候,那位科员人员也没有耽搁,仅短暂顿了一秒,忙详细讲出报告中的数据。

  “根据测量结果显示,逐光分辨率完全达标,光学成像能力优秀,各层图案对齐良好,另外光刻机的机械精度达到预期。”

  当徐铭以及贺鹏涛和丁顺安,等微电子装备科研人员,听完这番话后,原本悬着的心总算彻底放下,证明逐光国产极紫外光刻机主体研发成功。

  标志着国内终于拥有了,百分之百国产化的,高端极紫外光刻机。

  不过大家并没有在这个时候鼓掌庆祝,反倒是强压住心中激动,继续听后面的其他流片数据项目结果。

  ……

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