“继续讲吧。”
徐铭点点头重新看向对方，示意往下接着报告。
这时旁边的余高远，同样没有耽搁，迫不及待也跟在后面附和上一句。
“对。”
“快说下其他测试项目情况？”
迎上现场所有人目光的实验室工作人员，因紧张下意识咽了口唾沫后，随即接着念出手中报告后面的内容。
“线条边缘粗糙度出现异常，LER的测量值，普遍比璇玑系统预测高出30%。”
随着这句话讲出，房间内的氛围顿时一变。
原本还浮现在脸上的笑容，瞬间便消失不见，就像是大冬天突然被浇了盆冷水。
没想到首次全链路功能验证流片，还是不可避免的出现了问题。
而神情变化最大的，则要属化学研究所人员，尤其是周启深院士。
旁边华天科技公司工程师，也微微有些皱眉。
从刚才的测试结果来看，国产逐光极紫外光刻机，主体研发成功没有问题，在线条边缘粗糙度上，出现这么大数值的偏差，原因大概率在光刻胶或者算法工具，说明仍旧存在没有发现的错误。
正当大家陷入沉思时，只见周启深一个跨步，来到那位实验室人员跟前，迅速接过数据报告认真查看起来。
视线约摸移动了几行内容，口中不由得低喃出声。
“线条边缘在显微镜下，呈现出颤抖的毛边形态，并非预测中的光滑刀刃。”
“我们的光刻胶刚完成技术升级……”
“不应出现这种情况才对？”
话音还未完全落下，华天科技董事长孙庆丰，几乎下意识脱口接上一句。
“璇玑系统是由徐总师亲自带领大家开发，预测的数值绝对能够保证精度。”
“没错。”苏振豪闻言也点了点头。
他全程见证了，徐铭亲自参与璇玑系统开发，深知其核心算法和模型的技术程度，是绝无例外的远远领先于海外三大EDA公司产品。
贺鹏涛与丁顺安等微电子装备这边，按理说应该会逐光极紫外光刻机的成功高兴，但突然出现这种情况，心里涌现出几分担忧。毕竟无论光刻机还是光刻胶，亦或者璇玑系统软件，都是为了制造高端芯片服务，任何环节出现问题所带来的结果一样。
那就是生产线无法启动。
至于院长余高远，和其他领导，因未具体参加项目。
面对稍专业的内容，无法做出判断。
只得把目光投向，身为总设计师的徐铭。
将大家的反应看在眼里，徐铭这时却并不意外，相反早就做出了类似情况的措施。
不管怎么说，这都是首次进行全链路流片验证，中间涉及到的因素实在太多太多，纵使发生状况也属于很正常的一件事情。
要知道在极紫外光刻机领域，国内可没有什么流片的具体经验。
在这件事上，还是要承认海外优势的。
念头停留在这里，他目光在众人身上扫过，接下周院士递来的报告，垂眼快速浏览完后，依旧无比镇定的讲出自己的相关判断。
“可能是工艺波动，或者测量误差，先等电性测试结果出来吧。”
“结果预计多久？”后边这句是对实验室人员说的。
“报告徐总师，电性测试也在进行中，下午应该就应能有详细数据出来。”实验室工作人员连忙沉声回答。
“那好。”
“大家就再耐心等等吧。”徐铭收回目光看向大家说。
眼看后续方向明确下来，余高远也不再沉默，主动接过话茬帮助大家调整好心态。
“为了研发出，百分之国产化的芯片制造产业链，咱们所有人都已经等了很多年。”
“哪还会差这点时间。”
“况且咱们还有将近一年时间，肯定来得及。”
尽管他很清楚，大家都肩负着很大压力，无比希望能在阿斯麦新产品正式发布前，推出国产极紫外光刻机，但越是到这个时候越是要稳住心态。
确保产品技术的绝对成熟。
而最关键的一点，是他对徐铭的信心。
有着余高远调节氛围，待实验室工作人员，急忙离开去盯电性测试时，房间内也再次恢复安静，谁都没有率先开口打破僵局进行交流。
不过可以确定一点，周启深以及化学研究所，大部分人脸上神情都肉眼可见的紧张。
仿佛在等待最终的宣判书。
在这种氛围下，中午大家甚至都没舍得，下楼去外面食堂吃饭。
直接订了些盒饭送到房间，边吃边等结果。
时间一分一秒过去，当日头走过正午，逐渐向西面偏移快到三点的时候。
万众期待下，房间的门终于再次被敲响。
这回不用徐铭开口，便有人一把拉开房门，将人拽进来的同时迫切询问。
“怎么样？”
“数据结果出来了吗？”
此话一出，也瞬间吸引现场所有人的目光。
“报告在这里。”实验室工作人员，点点头主动走过去把文件递到徐铭手中。
徐铭接下打量上去，约摸过去几分钟时间，方合上报告转递给身旁的其他人翻阅。
“你们也看看吧。”
口中话音前脚刚落下，紧跟在后面又详细分析。
“晶体管性能未能达到预期，开关速度比璇玑系统预测值慢了15%左右，且波动范围也比较大。”
“加上漏电流也比预测值高出一个量级，这会严重影响芯片的功耗出现失效。”
根据这几项测试的结果看，实际流片数据，根本达不到璇玑系统的数字流片，这样的良品率，可没法用于商业生产线的使用。
必须找到问题将其解决。
很快。
伴随大家都看完报告，人群中的苏振豪率先开口，依旧坚持自己的判断。
“璇玑系统的模型算法，经过了无数次验证，预测数值是不可能出现问题的。”
眼看众人要针对此事召开讨论时，只听徐铭再次开口拍板为情况做出决断，显然通过这些数据报告，已然成功找到了问题的真正所在。