她身体前倾,那双极具侵略的眼睛盯着这群老专家。
“为什么要抄尼康的作业?
他们的光路设计是为了迁就萤石的缺陷。
启航有镧系玻璃,完全可以重构光路。”
餐厅里一时间安静得只剩下排气扇的嗡嗡声。
顾文昌的手哆嗦着,花生米掉在桌上。
他顾不得去捡,慌乱地在口袋里摸索,掏出一支磨得掉漆的钢笔,又四下张望找纸。
韩栋没说话,顺手把一盒未拆封的餐巾纸推了过去。
顾文昌扯出一张纸巾,铺在桌面上,笔尖颤抖着画下一条曲线。
“当年我的导师伊万诺夫讲过这个构想……”
老人的声音越来越急促,俄语单词时不时地蹦出来。
“双高斯结构的变种,如果在第三组透镜加入高折射率材料……”
“曲率半径要改。”
林淑仪直接伸手拿过顾文昌手里的笔,在老人的图纸上重重地划了一道杠,然后在旁边补了一个更陡峭的弧度。
“这里,要把像场弯曲压下去。
镧系玻璃的色散低,我们可以把数值孔径从0.35拉到0.42。”
“0.42?”
刘明远倒吸一口凉气,眼珠子瞪得滚圆。
“那分辨率岂不是能突破1微米?”
“1微米?”
林淑仪冷笑,笔尖在纸巾上戳出一个洞。
“如果只有1微米,我回国干什么?我要的是0.8微米!”
0.8微米。
这个数字像一道惊雷,炸得在座的五个老头,头皮发麻。
现在的国际主流,尼康和GCA的量产机型都在1.2微米左右徘徊。
0.8微米,那是下一代甚至下两代光刻机的指标。
“疯了……”
孙正平喃喃自语,手里的酒杯晃荡出一滩酒水。
“这不仅是光学的问题,景深会变得极浅,对焦系统的精度要求至少要提高三倍。”
“对焦系统我来搞。”
一直没说话的李响突然插嘴,嘴里还塞着半个馒头。
“计算中心的算力够用。
在歼8进气道上用的那套附面层实时监控算法,改一改就能用在晶圆平整度检测上。
只要采样点够密,我就能算出来!”
“光算出来没用!”
顾文昌突然说道。
老人满脸通红,完全没了平日里的颓唐。
他指着纸巾上的那个透镜组。
“这个非球面,怎么磨?国内没有这种精度的磨床!”
“我就知道您会问这个。”
林淑仪从随身的包里抽出一张折叠的图纸,摊开压在转盘上。
“离子束抛光。”
她指着图纸上那个像枪管一样的结构。
“不用机械磨头。
用离子束流去轰击玻璃表面,原子级的去除材料。
这是我在哈佛实验室被那个白人老头扣下的课题,但我脑子里有全部参数。”
顾文昌盯着那张图,呼吸急促。
他看懂了。
这是一种极其暴力的工业美学。
是用物理规则去强行修正误差。
“能做出来吗?”
顾文昌猛地抬头看向韩栋,眼神里有一丝试探,他怕这只是个美梦。
韩栋正拿着茶壶往杯子里续水,神色平静得像是在听家常里短。
“有现成的真空室,离子源可以让秦远山教授帮忙,他是搞高能物理的。”
韩栋把茶壶放下。
“只要理论通,设备我给你们造。”
“通!绝对通!”
顾文昌一把抓起桌上的茅台酒瓶,也不用杯子,直接对着瓶口灌了一大口。
辛辣的酒液顺着他的嘴角流下来,打湿了那件中山装。
“痛快!”
老人把酒瓶重重顿在桌上,眼眶通红,对着林淑仪说道:
“丫头,你这个设计,当真厉害!当年我在莫斯科没敢想的事,你却敢干!”
“不是我敢干。”
林淑仪也端起面前的酒杯,仰头一饮而尽,辛辣让她皱了皱眉,但嘴角的笑意却越来越浓。
“是启航有这个本钱干。”
餐桌上的气氛彻底变了。
之前的拘谨、试探、怀疑,在这一刻全部烟消云散。
转为英雄相见恨晚的惺惺相惜。
五六个脑袋凑在那张小小的餐巾纸上方。
“这里,第五片透镜,如果用铈掺杂,抗辐射性能是不是更好?”
“对!紫外光会让玻璃老化,加铈能延寿!”
“那镀膜呢?多层介质膜的厚度要重新算……”
“算!今晚就去机房算!”
韩蕊坐在韩栋旁边,手里捏着筷子,却一口都没吃。
她呆呆地看着正和一群老头子争得面红耳赤、时不时爆出一句Shit的林淑仪。
那个在波士顿总是独来独往、穿着黑色风衣像个幽灵一样穿梭在实验室和公寓之间的女魔头,此刻竟然笑得像个拿到了新玩具的孩子。
林淑仪的脸上沾了一点绯红,头发也有点乱,但那双眼睛却始终炯炯有神。
“哥。”
韩蕊悄悄扯了扯韩栋的袖子,压低声音说道:
“我从来没见淑仪姐这么笑过。
在哈佛,那些白人男生都躲着她走,说她是只会做实验的机器人。”
韩栋靠在椅背上,看着眼前这一幕,给自己倒了一杯茶水,轻声说道:
“她只是在等一群能听懂她说话的人。”
天才不需要怜悯,也不需要金钱的安抚。
他们需要的,是一个能让他们肆意燃烧的战场,和一群能陪他们一起疯的战友。
“小蕊。”
韩栋转头看向妹妹。
“嗯?”
“吃饱了吗?”
“没吃两口呢,光看戏了。”
“那就多吃点,最近都熬瘦了。”
韩栋宠溺的看着韩蕊,随后站起身,整理了一下衣领。
“我去通知后勤,把备用发电机准备好。
今晚,计算中心那里恐怕要通宵。”
韩蕊愣了一下,随即咧嘴笑了。
“哥,你要陪他们疯?”
韩栋看着顾文昌正抓着那根钢笔,激动地论证着某个公式,眼神深邃。
“是给他们准备充分发挥的空间。”
……
夜里十一点,启航工业园地下计算中心。
原本应该寂静无声的机房,此刻喧闹异常。
那餐巾纸被小心翼翼地贴在白板的正中央,周围密密麻麻写满了推导公式。
顾文昌脱掉了中山装,只穿一件发黄的白衬衫,袖子卷到手肘,正站在白板前挥斥方遒。
“这里!波像差必须控制在0.02个波长以内!”
老人的声音嘶哑,但中气十足。
“老顾,你那个算法太老了!”
林淑仪坐在SGI工作站前,十指如飞。
“用快速傅里叶变换!
李响,给老顾调一个终端,让他看看什么叫现代算力!”
李响屁颠屁颠地搬来一把椅子。
“顾老,您坐这儿。这是光线追踪的实时模拟画面。”
顾文昌凑过去,看着屏幕上那束穿过虚拟透镜组的紫色光线,在经过第三片镧系玻璃时,发生了一个极其完美的折射。
汇聚点,小得像针尖。
屏幕右下角的参数栏跳动了一下。
光斑尺寸:0.79
“成了……”
顾文昌一屁股坐在椅子上,盯着那个数字,长出了一口气。
三十年了。
从莫斯科的冰天雪地,到沪市半导体研究所的冷板凳,再到今天这个灯火通明的地下室。
他一直以为自己这辈子就是个修修补补的命,给洋人的机器换换螺丝,受受窝囊气。
没想到,临了临了,还能干一票这么大的。
“别高兴早了。”
林淑仪头也没回,键盘敲得噼里啪啦响。
“这只是理论值。光刻机还有双工件台、对准系统、光源控制……
这台尼康就是个摆设,我们要做的,是全面升级。”
刘明远在一旁搓着手,兴奋得满脸通红。
“只要这玩意儿能动起来,咱们的努力就没白费!”
韩栋站在机房门口看着这群陷入狂热的人。
他手里拿着一份刚从传真机里吐出来的文件。
那是王雷从港岛发来的急电。
“ASML宣布第一台PAS5500原型机组装完成,准备送往台积电进行测试。”
韩栋借着机房的灯光,看着纸上的内容。
PAS5500,那是ASML称霸世界的起点,一代神机。
如果是前世,华夏的半导体产业在这一刻就已经注定被甩开十万八千里。
但现在……
韩栋抬头,看了一眼白板上那个醒目的0.8μm。
“今时不同往日。”
韩栋将传真纸揉成一团,随手扔进旁边的废纸篓。
既然天才们已经入席,这场宴会,才算真正开始。
“李响。”韩栋开口。
“到!”
“把之前那个17齿质数齿轮的分析报告调出来。”
韩栋大步走进机房,声音穿透了喧嚣。
“既然光学系统要大改,那个齿轮也别留着过年了。
今晚,把它替换掉。”
“是!”
整个计算中心,再次沸腾。
……