“它的齿数是17。”李响一字一句地说道。
“一个质数。”
质数!
这几个字一出口,整个超净车间瞬间安静了下来。
在场的所有技术人员,脸色都变了。
在精密机械,尤其是要求重复定位精度达到亚微米级别的设备里,使用一个质数齿数的齿轮,意味着什么?
意味着每一次传动循环,都会产生一个无法被整除的、累积性的微小误差!
这个误差小到单次运动根本无法察觉!
但随着曝光次数的增加,它会像一个看不见的幽灵,让整个晶圆的电路图案产生无法预测的随机漂移。
如果说替换光学镜头是给了这台机器一个痴呆的大脑。
那么这个隐藏的质数齿轮,就是往这台机器的心脏里,插进了一根不断搅动的毒刺!
一个比镜头调包,更加用心险恶,也更加隐蔽的陷阱!
这就是樱花国当年的所作所为!
其心可诛!
一个隐藏在精密传动系统里的质数齿轮,就像一个被精心设计的癌症病毒。
在设备运行的每一秒,都在进行着微观层面的破坏。
它累积的误差,足以毁掉每一片在它上面加工的晶圆。
孙正平的脸瞬间涨得通红,粗重的呼吸声在安静的车间里格外清晰。
他当年带着人拆检过,却完美地错过了这个最致命的陷阱。
这已经不是简单的商业欺诈了。
这是从根子上,要彻底掐死华夏半导体希望的歹毒用心!
“继续。”
韩栋的声音打破了死寂。
他的脸上没有任何多余的表情,只是转过身,重新将注意力放回到了被拆解的机器上。
李响攥紧了拳头,扭头对他的团队说道:
“都动起来!把这台机器的每一个缺陷都挖出来!”
压抑的怒火,瞬间转化成了恐怖的工作效率。
第四天下午,机械传动系统拆解完成。
当李响的团队将X-Y工件台的核心驱动单元,一套谐波减速器,完整地从机体上剥离下来时。
孙正平再也忍不住,凑了过去。
那套减速器只有巴掌大小,结构却复杂到让人头皮发麻。
“柔性齿轮的齿厚只有0.5毫米,材料是特种弹簧钢……”
李响团队的年轻工程师一边用扫描仪建模,一边快速报出数据。
“韩总,它的减速比高达100:1,重复定位精度,真的达到了0.1微米。”
0.1微米。
这个数字让孙正平的手都开始发抖。
这意味着,他们脚下这台机器的机械精度,比国内最顶级的坐标镗床还要高出一个数量级。
“尼康用全世界最精密的机械系统,来承载一个从设计之初就注定会出错的传动结构。”
韩栋走到那套谐波减速器旁边,拿起其中一个柔轮,对着灯光看。
“他们就是要让我们在一次次的失败中,不断怀疑自己。
怀疑操作、环境、材料,但永远不会怀疑这台机器本身。
因为它的每一个基础部件,都优秀得无懈可击。”
这番话,让刘明远和孙正平的心里不是滋味。
当年那三个月没日没夜的调试,每个人都写了十几遍检查,把所有问题都归咎到自己身上。
那种自我否定和精神内耗,比亏掉八十万美金本身,更让人痛苦。
第五天,真空系统和控制系统。
当控制电路板被小心翼翼地拆下来时,孙正平的动作忽然停住了。
他盯着电路板正中央那块黑色方形芯片。
“摩托罗拉MC6800……”
顾文昌不知什么时候走了过来,扶了扶老花镜,只看了一眼,就轻轻吐出了芯片的型号。
“顾老,这……”孙正平的声音有些干涩。
“16位处理器。”顾文昌的语气很平静。
“我们现在的火控计算机,因为禁运问题,用的还是8位的Z80。
性能,差了三倍不止。”
在场的启航年轻技术员们,或许对这个差距还没有直观的概念。
但顾文昌、刘明远这些搞了一辈子技术的老人,却清楚地知道这意味着什么。
“差距,从来都不是单一的。”
顾文昌伸出干枯的手指,轻轻抚过那块芯片的表面。
“光学、机械、电子……它是一个完整的体系。
我们缺的,是整个体系。”
整个下午,这位老人都没有再多说一句话。
他只是默默地看着那些年轻的技术员将一根根线缆、一个个电子元件拆解、分类、记录。
第六天傍晚。
拆解工作进入了最核心,也是最艰难的阶段。
激光干涉仪测距系统。
这是整台光刻机的眼睛,是保证亚微米级精度的最后一道防线。
整个拆解过程,由韩栋亲自上手。
他甚至没有让李响的团队插手,而是从自己的工具箱里,拿出了一套专门从德国定制的微型扭矩扳手和光学工具。
当干涉仪的外壳被打开,那根纤细的、散发着橙红色光芒的氦氖激光管暴露出来时,整个车间的人都屏住了呼吸。
“稳住……”刘明远在一旁紧张地小声提醒。
韩栋双手稳定得不像人类。
拧松固定螺丝,断开高压电源,分离反射镜组……
每一个动作都精准无比。
顾文昌的身体微微前倾,几乎要把脸贴到防护玻璃上。
“氦氖激光,波长632.8纳米……”
他的嘴里在低声念着。
“看看它的稳频装置和模式选择腔,如果能搞清楚它的原理……”
终于,韩栋将整个激光器模块完整地取了下来。
他将模块放在专用的防静电托盘上,然后对顾文昌做了一个手势。
顾文昌立刻上前,用一台手持式光谱仪对准了激光器的出光口。
屏幕上,一条极其尖锐的谱线亮起。
仪器开始自动计算。
几秒钟后,一串数字跳了出来。
“波长稳定性,10的负8次方……”顾文昌看着那个数字,整个人都僵住了。
这个数字意味着,这台激光器每震荡一亿次,才会出现一次波长漂移。
“顾老,如果能造出这种激光器……”李响在一旁,默默地说道。
“不止是光刻机!”
顾文昌激动地抬起头,布满皱纹的脸上泛着异样的潮红。
“我们国家所有的高精度测量,数控机床的定位,导弹的惯性制导……
所有的一切,都将向前迈进一大步!
这是工业的尺子!
一把真正精准的尺子!”
老人说着说着,眼眶就红了。
为了这把尺子,华夏的精密工业,摸着石头过河,走了几十年弯路。
第七天上午,最后的真空吸盘和晶圆台被拆解下来。
刘明远亲自拿着一台平面度检测仪,对那个直径只有六英寸的圆形吸盘进行测量。
当最终的检测结果显示在屏幕上时,他沉默了。
“最大误差,竟然不超过50纳米。”
50纳米,相当于一根头发丝直径的千分之一。
站在一旁的厂长陈卫国,看着车间里被整整齐齐摆放开的、成千上万个零件,以及旁边那厚厚一摞,几乎有半人高的测绘图纸,长长地叹了一口气。
“十年了,我们守着一座金山,却把它当成了一坨垃圾,当成了厂里的耻辱柱……
还天天在写些没用的检讨……”
他的话里带着无尽的感慨和自嘲。
当天下午,元件五厂的会议室里。
韩栋召集了所有参与此次拆解工作的技术人员,召开了总结会议。
李响站在最前面,打开投影仪。
一张密密麻麻的统计表格出现在幕布上。
“报告韩总,为期一周的GCA4800DSW型步进式光刻机拆解测绘工作,已经全部完成。”
“本次拆解,共计拆解零件12847个,其中标准件8102个,非标件4745个。”
“绘制三维模型及工程图纸,共计3621张。”
“拍摄技术参考照片,共计8940张。”
“记录各类测量数据,超过五万条。”
“目前,该光刻机的完整数字孪生模型,已在启航计算中心服务器内初步构建完成。”
李响的声音在安静的会议室里回荡。
每一个数字,都代表着过去七天里,这几十号人所付出的惊人努力。
在场的所有人,无论是启航的骨干,还是元件五厂的老技术员,脸上都露出了难以抑制的激动和自豪。
“我宣布,第一阶段,拆解测绘任务,圆满完成。”
韩栋站起身,宣布了这个结果。
会议室里,瞬间爆发出雷鸣般的掌声。
陈卫国、刘明远、孙正平这些老人,都在用力地鼓掌,眼眶通红。
压抑了十年的屈辱和不甘,在这一刻,终于化作了扬眉吐气的激动。
然而,韩栋只是平静地等掌声落下。
他没有说任何一句表扬或者鼓励的话。
他走到白板前,拿起一支笔,在上面重重地写下了两个单词。
【Nikon】
【ASML】
然后,他转过身,看向所有人。
“我们用了一周的时间,拆解了一台尼康在1982年卖给我们的二手货。”
“现在是1988年。”
“我想问在座的各位一个问题。”
“这六年时间,尼康和那家荷兰公司,又往前走了多远?”
众人听到韩栋的话,又陷入了长久的沉默和沉思……