深夜十一点,元件五厂尘封多年的光刻机技术科办公室被重新打扫出来,灯火通明。
消毒后,还残留着些许刺鼻的气味。
韩栋站在一块临时搬来的白板前,手里拿着一支红色记号笔。
他的身后,是刘卫东、李响以及另外十二名从启航工业园星夜兼程赶来的核心骨干。
每个人脸上都带着一丝旅途的疲惫,但精神却高度亢奋。
白板上已经被韩栋画出了一副极其复杂的流程图,一个个方框用箭头连接。
从整机拆解开始,分化出机械传动、真空系统、运动控制、光学系统等十几个分支,最终全部指向一个终点。
数字孪生模型。
“时间,一周。”
韩栋放下记号笔,转身看着众人,郑重说道。
李响的眼角抽动了一下。
“韩总,一周?”
“这台光刻机有上万个零件,光是机械传动部分的测绘和建模,按照常规流程,没三个月根本下不来。
这还不算最复杂的光学和控制系统。”
这不是质疑,这是一个经验丰富的技术人员,基于现实做出的最基本判断。
韩栋的表情没有任何变化。
“我没问可不可能,我是在下达命令。”
“李响。”
“在。”
李响往前站了一步,腰杆笔直。
“你的团队,负责建立完整的数字模型。
我要这台机器的每一个螺丝,每一条走线,它的材质、公差、热膨胀系数,全部录入数据库。
一周后,我要在计算中心的服务器里,看到一个和它一模一样的虚拟光刻机在运行。
能不能做到?”
李响这次的回答没有任何犹豫:
“保证完成任务。”
刘卫东忽然意识到,自己或许还在用过去的经验去衡量启航,衡量韩栋。
而韩栋,早已习惯了用未来去定义现在。
“这是火种计划的第一枪。”
韩栋的目光扫过每一个人。
“这一枪必须打响,而且要打得又快又漂亮。
都去休息,明天早上六点,准时进场。”
“是!”
整齐划一的回答,在空旷的办公室里回荡。
……
次日清晨六点,元件五厂那间专门为尼康光刻机建造的超净车间,时隔十年再次启动了最高级别的净化程序。
当厚重的气密门缓缓滑开时,所有人都屏住了呼吸。
李响带领的十二名启航技术骨干,配合着刘明远、孙正平等七八位元件五厂的老技术员,全部换上了白色的无尘服,只露出一双眼睛。
前者朝气蓬勃,动作利索地在机器周围布置开各种闻所未闻的精密仪器。
三维激光扫描仪、便携式光谱分析仪、高精度工业内窥镜……
后者则像是一群即将重返战场的宿将,目光复杂地看着那台银灰色的机器,手指下意识地摩挲着挂在腰间的工具。
一个瘦削的身影缓缓走了进来。
是顾文昌。
韩栋特批,这位国宝级的专家,可以不受任何规章的限制。
顾文昌戴着一副老花镜,走到光刻机旁边,伸出干枯的手指,轻轻抚摸着冰冷的金属外壳,动作轻柔,像是在触碰一件稀世珍宝。
周围的年轻技术员们自动安静下来,看着这位活在教科书里的老人。
“光,是一把刀。”
顾文昌开口了,像是在讲故事一样。
“一把在纳米尺度上进行雕刻的刀。
你们脚下这台机器,就是控制这把刀的手。
光源系统是发力点,掩膜版是雕刻的图样,光刻胶是承载的玉石,而光学系统……”
他停顿了一下,指着机器最核心的位置。
“就是这只手本身。一只颤抖的手,只会制造出一堆废料。”
站在一旁的孙正平,这位当年负责调试的老技术员,粗声粗气地补充了一句。
“我们当年,就对着这只手,抖了整整三个月。
九成的废品率,扔掉的每一片硅晶圆,都跟剜自己心口的肉一样疼。”
一番话,让在场的启航年轻技术员们脸上的轻松写意瞬间收敛。
书本上的技术参数,在这一刻,变成了带着血与泪的真实历史。
韩栋下达了指令:
“开始吧。”
一场前所未有的工业解剖,正式拉开序幕。
拆解工作从最外围的机壳和辅助系统开始。
整个流程,被韩栋规划得极为精密细致。
每一个零件被拆下,立刻会被放进一个无菌袋中。
旁边的技术员手持扫码枪一扫,这个零件的三维模型、尺寸公差、材质等所有信息,立刻同步到李响团队的数据库中。
拍照、测量、记录……
整个车间里,除了仪器的轻微蜂鸣声,几乎听不到多余的交谈。
效率高到令人窒息。
原本以为自己是来当主力的孙正平等老技术员,很快就发现,他们成了技术顾问。
“小伙子,停一下!”
孙正平忽然喊道,叫住一个正要拆卸晶圆承载台真空吸盘的年轻工程师。
“这个吸盘的气密圈是丁腈橡胶的,当年德国人的货,放了十年,早就老化了,你这么拆,肯定要碎。
得先用乙醚滴几滴软化一下。”
年轻工程师立刻停手,虚心地听着。
刘明远也指着一处传动轴说道:
“这根导轨的润滑用的是克虏伯的7号润滑脂,不能用酒精擦,会产生化学反应,影响顺滑度。”
启航的团队有最先进的工具和方法论,而元件五厂的老师傅们,则拥有与这台机器朝夕相处过的肌肉记忆和实践经验。
新与旧,理论与实践,在这一刻,完美地融合在了一起。
时间一天天过去。
机械传动系统、真空吸盘系统、激光干涉仪定位系统……
一个个复杂的模块,被干净利落地分解、测绘、数字化。
第三天上午,拆解工作终于推进到了机器的心脏地带。
核心光学系统。
当沉重的铅制防护罩被移开,那套由十几片镜片组成的复杂镜组,终于暴露在众人面前。
它们被固定在一个精密复杂的金属结构中,在无尘车间的灯光下反射着幽光。
即便知道它们是赝品,但在场的所有人,还是感受到了一种源自精密工业美学的震撼。
“我来。”
韩栋亲自上前,从一个金属箱里,取出了他带来的手持式激光测距仪和光谱分析仪。
他将光谱分析仪的探头,轻轻贴在第一片镜片的表面。
仪器发出一声轻响,旁边的屏幕上,立刻弹出了一张复杂的光谱曲线图和一连串数据。
顾文昌就站在他身边,手里拿着一个写字板,神情专注到了极点。
“折射率1.5168,阿贝数64.17……”
韩栋直接报出关键数据。
顾文昌的笔尖在纸上飞快地记录着,嘴里喃喃道:
“是K9玻璃,最普通的冕牌光学玻璃,成本不到萤石的百分之一。”
韩栋没有停,继续检测下一片镜片。
“折射率1.72,阿贝数29.51……这是F2火石玻璃。”
“折射率1.62,阿贝数……”
一组又一组的数据被报出,又被顾文昌一笔一划地记录下来。
整个过程,冷静而高效。
当最后一片镜片的参数被记录完毕,顾文昌看着写字板上满满两页的数据,长长地呼出了一口气。
他抬起头,布满皱纹的脸上,显现出一种奇异的光彩。
“小韩,我们有参照基准了。”
老人家的声音有些颤抖。
“尼康的原厂设计,是为了完美消除萤石和几种特种玻璃组合产生的球差和色差。
他们用这些廉价的普通玻璃替换,物理尺寸一模一样,但光学特性天差地别。
这份数据,反向推导,就能大致还原出原厂设计对镜片组合的要求!”
“不是还原。”韩栋纠正道。
“是超越,这份数据不是我们的目标,而是靶子。
镧系光学玻璃的性能,将全面碾压它。”
顾文昌重重地点头,眼眶有些发红。
在这一刻,当年的屈辱终于变成了一份写满数据的战斗檄文!
就在这时,一直负责数据汇总的李响,忽然从不远处回过头,眉头紧锁。
“韩总,有点不对劲。”
韩栋走了过去。
李响指着屏幕上一个刚刚构建完成的模型,那是光刻机工件台的X-Y轴微动平台。
“工件台的驱动系统,我们已经全部测绘完毕。
步进电机、滚珠丝杠、光栅尺、激光干涉仪……
所有零件的参数,都跟我们资料库里尼康的标准件数据完全一致。”
“问题在哪?”
刘卫东也凑了过来。
李响将模型旋转放大,最后聚焦在传动齿轮箱内部,一个毫不起眼的齿轮上。
他用红色高亮了这个零件。
“问题是它。”
李响的声音变得严肃起来。
“这个齿轮,在所有尼康的技术手册和维修图纸上,都没有记载。
它不是标准件。”
孙正平也瞪大了眼睛,凑到屏幕前:
“不可能啊,我们当年拆检过,没发现有非标准件啊?”
“因为它被巧妙地隐藏在两个标准行星齿轮组的中间,外观和尺寸都做了伪装。”李响解释道。
“但它的齿数很奇怪。”
“怎么奇怪了?”