挂断电话,林教授看向陆佳杰。
“佳杰,修改参数,重新计算。”
陆佳杰点头,手指再次在键盘上飞舞。
林教授站在窗前,看着外面的夜色。
韩总的每一个决策,每一个技术细节,都精准得可怕。
就好像他已经把整个IGBT做过一遍,知道每一个坑在哪里。
这种感觉,让林教授既敬畏又兴奋。
跟着这样的人干,是一种幸运。
……
两周后,滨江启航工业园二号厂房。
林淑仪站在离子注入机前,手里拿着一片刚完成注入的硅片。
硅片表面泛着淡淡的蓝光,那是氧化层的颜色。
“倪总,这是第五十三片。”林淑仪说。
“前面五十二片,要么注入剂量不均匀,要么注入深度控制不住。”
倪光楠接过硅片,仔细端详。
“这片看起来不错,表面很平整。”
“但还要做二次离子质谱分析,才能确定注入的掺杂分布是否符合设计要求。”林淑仪说。
“样品已经送去分析中心了,明天上午能出结果。”
倪光楠点头。
他知道林淑仪和她的团队这两周承受了多大的压力。
离子注入看似简单,实际上是一个极其复杂的过程。
离子束的能量、束流强度、扫描速度、衬底温度,每一个参数都会影响最终的掺杂分布。
而且这些参数之间还会相互耦合,牵一发而动全身。
前五十二片硅片,就是在这些参数的调试中报废的。
“淑仪,别着急。”倪光楠拍了拍她的肩膀。
“韩总说了,工艺开发就是这样,失败是常态,成功才是意外。”
“关键是要从每一次失败中总结经验,不断逼近最优参数。”
林淑仪点头,眼神重新变得坚定。
“倪总,您说得对,咱们再试五十片,总能摸出规律。”
几天后的上午,分析中心的报告出来了。
林淑仪拿着报告,冲进倪光楠的办公室。
“倪总!成了!”
倪光楠猛地站起来。
“真的?”
“您看!”林淑仪把报告摊在桌上。
“第五十三片硅片的掺杂分布,和韩总给的仿真结果几乎完全一致!”
“注入深度0.8微米,误差不到5%。掺杂浓度峰值3.2×10的19次方每立方厘米,误差不到8%。”
倪光楠接过报告,手都在抖。
这意味着离子注入工艺已经突破了。
接下来只要按照这组参数,就能稳定地制造出符合设计要求的IGBT芯片。
“马上通知韩总。”倪光楠说。
“告诉韩总,设备这边已经就绪,可以开始做完整的IGBT样片了。”
林淑仪点头,转身要走。
“等等。”倪光楠叫住她。
“淑仪,辛苦了。”
林淑仪回头,笑了。
“不辛苦,能参与这样的项目,是我的荣幸。”
……
启航大厦五十六层,总裁办公室。
韩栋放下电话,嘴角露出一丝笑意。
离子注入工艺突破,这是一个关键节点。
接下来只要把其他工艺模块串联起来,IGBT样片就能做出来。
他拿起桌上的日历,用红笔在5月15号这一天画了个圈。
距离京沪高铁招标还有两个月。
时间很紧,但来得及。
办公室的门被敲响。
“进来。”
陆佳杰推门而入,脸上满是疲惫,但眼睛里闪着光。
“韩总,仿真软件的所有模块已经开发完成。
用超算跑了一百组不同结构的IGBT设计,最终优选出三个最优方案。”
陆佳杰把一份厚厚的报告放在韩栋桌上。
“这是三个方案的详细参数和仿真结果。”
韩栋翻开报告,快速浏览。
方案一:沟槽栅深度3微米,场截止层厚度0.5微米,预测击穿电压3500V,导通压降1.7V。
方案二:沟槽栅深度4微米,场截止层厚度0.8微米,预测击穿电压3800V,导通压降1.9V。
方案三:沟槽栅深度3.5微米,场截止层厚度0.6微米,预测击穿电压3650V,导通压降1.6V。
韩栋的手指在方案三上停留。
“就这个。”
“为什么?”陆佳杰问。
“方案二的击穿电压最高,可靠性更好。”
“但导通压降也最高。”韩栋说。
“高铁牵引系统,导通损耗是最主要的能耗来源。
降低0.3V的导通压降,一列车一年能省几十万度电。”
“而且3650V的击穿电压,对于3300V的应用场景已经有足够的安全裕量。”
陆佳杰恍然大悟。
韩总考虑的永远不只是器件本身的性能,而是整个系统的综合效益。
“明白了,韩总。
我马上把方案三的工艺参数发给林淑仪,让他们开始制造样片。”
“等等。”韩栋叫住他。
“样片制造之前,还有一件事。”
“什么事?”
韩栋从抽屉里拿出一份文件,递给陆佳杰。
“这是IGBT的专利申请材料。
我已经写好了,你去找知识产权部,让他们加急提交PCT国际专利申请。”
陆佳杰接过文件,翻开第一页,瞳孔骤然收缩。
“韩总,这……这是要把沟槽栅和场截止技术全部申请专利?”
“对。”韩栋点头。
“而且要抢在西门子、英飞凌他们之前。”
“一旦专利获批,全世界任何公司想用这个技术,都得向启航交专利费。”
陆佳杰倒吸一口凉气。
这一招绝了。
韩总不只是要做出IGBT,还要把技术路线的专利壁垒建起来。
让那些国际巨头想抄都抄不了。
“我马上去办。”陆佳杰转身离开。
办公室里只剩下韩栋一个人。
他走到窗边,看着外面的城市。
1993年的华夏还不富裕,工业实力正在整合中。
但只要有人愿意去拼去闯,去打破那些看似不可能的技术壁垒。
这个国家,就有希望。
而启航,就是那个破局者。
韩栋的目光投向远方。
那里,是京沪高铁的起点。
也是华夏高铁梦想的起点。
两个月后,启航要在那里向全世界证明。
华夏人,不只是能造高铁。
更能造出世界上最先进的高铁!