庐州,星源科技总部。
洁净室入口的空气锁在发出低沉的“嘶啦”声,待气压平衡后,厚重的玻璃门缓缓向两侧滑开。
所有人都换上了全套无尘服,陈延森第一个跨进去,身后跟着梁劲松、林南、汪象朝,以及两名高级光学工程师。
一进主工艺间,整片区域便被昏黄的灯光所笼罩,这是EUV光刻机专用的黄光环境,避免常规白光对光刻胶造成非预期曝光。
大厅正中,三台破晓 A3X EUV光刻机一字排开。
它的机身比上一代A220更高、更长,主体采用深灰与哑光黑的撞色设计,表面几乎看不到外露的管线与接头。
机器顶部的环形散热带微微发亮,内部的冷却液正在持续循环,从而带走光源工作时产生的巨大热量。
陈延森在三米外站定,望着机身表面印刷的两个字,不由地怔怔出神。
三年前,全球九成以上光刻机的外壳上都印着“ASML”的品牌名,如今则全都换成了“破晓”。
这份从追赶至超越的滋味,恐怕只有深耕半导体行业的人,才能真正体会到。
这几年,星源科技的工程师拿着高额出差补贴,奔赴欧美各地,为破晓光刻机安装调试、提供售后,也算亲身体验了一把当年欧美工程师的待遇。
甭管设备出什么问题,厂家都得开出高价、包往返机票与住宿,才能享受到合同约定的检修服务。
敢私自拆机?
合同立刻终止!
哪怕设备只移动一米,都必须提前报备,否则系统会直接远程锁机。
在光刻机领域,星源科技但凡轻咳一声,全球所有晶圆厂都得跟着震一震。
“老板,这就是一号机。”
梁劲松上前半步,指着面前的设备说道:“上周五完成了最后一次全系统自检,各子系统均绿灯通过,目前已累计运行时长超120小时,无任何故障提示。”
陈延森微微点头,目光落在设备底座的减震平台上。
底座采用特制花岗岩与碳纤维复合结构,平台边缘镶嵌着一圈细密的激光干涉仪,可实时监测整机姿态,精度达到亚纳米级。
再往上,是锡等离子体光源腔。
腔体外壁密布着高压氙气放电管与辅助磁约束线圈,透过观察窗,仍能看见内部残留的一圈圈幽蓝辉光。
“光源的Collector镜组,有没有出现镀膜剥落?”
陈延森忽然开口问道。
梁劲松立即答道:“没有!我们将第四代Collector镜的钼硅多层膜厚度优化到了68.4纳米,驻波效应抑制效果大幅提升。
上一批连续轰击测试中,累计辐照剂量达到设计寿命的1.8倍,膜层反射率衰减仅有0.7%。”
陈延森嗯了一声,继续向前。
他绕到机器侧面,在投影物镜模组的观察窗前停下。
这里是整台设备最核心、也最昂贵的部分,由十七片镜片组成的8倍降幅投影系统。
透过多层防尘玻璃与黄光,隐约能看见最下方那片直径近半米的自由曲面主镜。
“自由曲面镜的面型数据,最近一次计量结果是多少?”
陈延森问得极为细致。
一旁的林南连忙补充:“老板,六片自由曲面镜的最新面型RMS,光滑度均控制在28到31皮米之间。”
陈延森蹲下身,凑近观察。
法兰连接处没有一丝油污,金属表面光洁度极高,边缘的He-Ne激光对准标记清晰可见,说明对中精度没有发生丝毫漂移。
谁说华国工程师造不出高端光刻机?
只要领进门,就没有学不会的道理。
破晓 A3X的研发工作,主力完全是星源科技自己的团队,极少借助外部力量。
“老梁,辛苦了!有你帮我守着星源科技,我很放心,A3X的稳定性比我预想的还要出色。”
陈延森拍了拍梁劲松的肩膀。
照这个势头,五年之内,破晓 A3X的工艺制程和生产效率都不会落后。
“老板,主要还是您打下的基础好。”
梁劲松笑着回道。
表面上看,破晓 A3X的性能突破极大,但底层技术框架,依旧是破晓 A220的那一套。
没有陈延森先前奠定的根基,就不可能有今天的破晓 A3X。
陈延森轻轻一笑,并没有多说什么。
尽管梁劲松是个湾岛人,但他做事卖力,给一年八百万美币的薪水,确实物超所值。
一小时后,陈延森离开星源科技,车队朝着瑶海区方向疾驰而去。
没过多久,车子就停了下来。
王子嫣抬头看了看银行的招牌,识趣地换到另一辆车里坐好。
紧接着,她就看到一个“煤气罐”从银行大门里小跑出来,一头钻进了陈延森的那辆车。
虽然早就做好了心理建设,可亲眼见到这一幕,王子嫣还是脸色一沉,心里酸得发堵。
“狗日的陈延森,吃着碗里的,想着锅里的,还时不时惦记别人手里的。”
她在心里暗暗骂道。
可她却忘了,如果陈延森不这么朝三暮四,她连上车的机会都没有。
另一边。
萌洁一上车,就扑进了陈延森怀里。
她今天值班,穿着浅灰色职业套装搭配黑色丝袜,长发盘得一丝不苟,鼻梁上架着一副细框无框眼镜,少了几分少女的青涩,多了几分成熟知性的韵味。
“萌行长,车门还没关呢,不怕被下属看见?”
陈延森笑着,抬手在她臀上“啪”地拍了一下,戏谑打趣道。
萌洁身材小巧玲珑,曲线不算夸张,但也是前凸后翘,稳居B CUP水准。
千万别小看这个数字,全国起码有七成还没到这个档次。
“我才不怕,嘻嘻。”
萌洁盈盈一笑,口是心非地回应道,随即把车门关上了。
“晚上想吃什么?川菜、粤菜,还是卤菜?”
陈延森抱着她,随口问道。
萌洁贴近他耳边,压低声音,带着几分娇嗔:“先吃你行不行?”
“咱俩可是好兄弟。”
陈延森板着脸说道。
“我吃的就是兄弟。”
萌洁咯咯笑道。
在她看来,虽说陈延森这几年身家暴涨,性子却还和大学时差不多,爱演、爱玩,还有不要脸。
司机小李握着方向盘,目不斜视地盯着前方。