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第257章 从今天开始,游戏规则变了【求订阅】

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  徐铭同海内外,公司代表负责人打完招呼,便返回休息室养精蓄锐。

  等待上台演讲。

  面向全世界,展示逐光极紫外光刻机的技术性能。

  他作为项目总设计师,早就和逐光,以及璇玑系统深度绑定,加上这段时间行业内讨论,自然没有人比他更适合担任主讲人。

  上午九点半。

  在线上无数人的狂欢声中,国际半导体技术大会正式拉开序幕。

  会场灯光调制明亮的会议模式,主舞台中间的巨大屏幕格外吸引眼球,台下超过两千个座位近乎坐满,前排的贵宾席上,微电子装备的贺鹏涛和丁顺安,华天科技董事长孙庆丰与华芯国际崔景和,以及阿斯麦首席执行官温克姆新思特德斯等人落座。

  连海外两大晶圆厂,也派遣了人员出席参加。

  可以说代表着整个半导体行业的权威。

  他们彼此轻声寒暄,气氛如同行业间的非正式峰会。

  当现场同声传译间灯亮,工作人员就位,摄影记者在后排和走道调试好设备。

  场内瞬间安静下来的同时,科学院院长余高远,作为代表上台致辞。

  很快按部就班说完后,念出首个演讲的人员名单。

  “接下来,有请阿斯麦首席执行官温克姆先生,为我们描述未来十年的光刻航线。”

  温克姆对自己首个演讲并不在意,哪怕刚才同徐铭进行了几句交流,此刻神情依旧保持着轻松自信,对自家的极紫外光刻机胸有成竹。

  他相信阿斯麦数十年基础物理学,和全球供应链建立的护城河。

  紧接着。

  迈步走到台上,面对底下观众开始发言。

  “先生们,女士们……”

  而对于演讲的内容,则主要是展示自家最新发布的极紫外光刻机,包括稳定性与产能成就,以及光刻机部分精美部件图片和测试数据。

  所表达的目的只有一个。

  那便是告诉全行业,阿斯麦依旧保持领先地位。

  这是他参加本次大会的核心目的。

  “我们的成功,源于与蔡司等行业伙伴数十年如一日的深度绑定,以及抬积电等晶圆厂共同进行的数千个工艺节点的调试。”

  “阿斯麦不怕竞争。”

  “最近我们也看到了一些有趣新方法,但半导体制造是科学,也是需要数十年积累的艺术,可靠性必须由时间才能检验证明。”

  ……

  “我们不是在雕刻硅片,而是在雕刻行业未来。”

  约摸半个小时左右的演讲结束,伴随着温克姆话音落下的同时,场内也响起了一片会意的掌声笑声。

  多为海外半导体上下游企业。

  甚至连特德斯,眼神中都浮现出几分期待。

  或许阿斯麦公司的产品,真的要比逐光极紫外光刻机更加先进。

  毕竟具体性能如何,不单靠嘴上说说。

  如果华方仅用两三年时间,研发出的逐光极紫外光刻机并没有想象的厉害,那对于他们乃至海外市场,无疑是件令人值得高兴的喜事。

  起码行业能继续保持稳定。

  避免技术变革,所带来的颠覆性冲击。

  然而当镜头对准国内这边,尤其是贺鹏涛和丁顺安以及孙庆丰等人,则丝毫没有被温克姆的演讲影响。

  脸上表情始终保持着镇定自若的微笑,仿佛一切都在掌握之中。

  不过与此同时线上直播间内,网友们则不需要顾忌任何人畅所欲言,对温克姆的自欺欺人表示想笑。

  弹幕刷新速度堪称坐火箭。

  “要是放在几年前,我会说一句阿斯麦的光刻机设备确实牛逼,但现在只能讲比着咱们还得努力。”

  “行业经验再多不还是7纳米光刻机,想不到怎么敢碰瓷逐光5纳米的。”

  “他不会真以为,徐教授作为总设计师的项目,其研究成果会搞什么虚假水分吧?”

  “还是对徐教授不太了解啊!”

  “逐光单在技术上,就和阿斯麦不再一个层次了,其他的说再多也没用,希望等会徐教授上台对方不要听傻眼。”

  “从咱们逐光极紫外光刻机问世的那刻,整个半导体行业就已经被重新书写了。”

  “这场大会的主角只有一个,那就是逐光。”

  “大家快看,徐教授上台了!”

  ……

  徐铭自然听完了温克姆的演讲,对其所讲的内容可以说丝毫不感到意外。

  从刚见面打招呼时,他便感受到了,对方所展露出来的强烈自信,但比较遗憾的是,在绝对技术差距前,再多十几年的行业经验照样没用。

  以前是国内技术落后,如今已然发生翻转。

  和温克姆不同,徐铭稳步来到讲台中间,他身穿简约深色正装,没有讲稿和激光笔,顶着一张年轻且英俊的脸庞仅往那一站,便引起场内雷鸣般的掌声,更使得许多人微微调整坐姿集中注意。

  哪怕温克姆和技术官布林克,都摘掉了眼镜,用镜布缓缓擦拭。

  因为无论逐光极紫外光刻机达到何种水平,单徐铭对学界的贡献便足以被每个人尊敬。

  这无关年龄。

  徐铭此刻的神态,没有任何挑战者的张扬,反而带着种问题解决者步入实验室般的平静。

  他没有寒暄耽搁时间,直接念出自己的开场白。

  “在过去,光刻机的进化,是在一条既定的道路上,追求更快的马。”

  “而今天我想分享的,是我们为何选择,以及如何造出了一辆‘车’”。

  说完。

  背后的大屏幕中,并没有展示芯片图片,反倒是调出了一组对比鲜明的动态模拟图。

  左侧为传统轰击锡滴方案,右侧则是逐光使用的全新极紫外光源系统。

  徐铭侧过身子看向屏幕,为大家介绍的同时,还不忘在后面报出三个数字。

  “相比较传统的锡滴发生器和激光路径,我们根据基础物理学的新理论发现,设计出全新的极紫外光源。”

  “它的能量转化效率达34%,热负载降低87%。”

  “连续无维护运行时间,理论超过3000小时。”

  首次在大会中披露出逐光的详细数据,几乎当声音在会场落下的瞬间,台下顿时响起阵难以置信的窃窃私语。

  温克姆以及技术官布林克,皆身体前倾,眉头紧蹙。

  身为阿斯麦半导体设备首席执行官,他太清楚这些数据意味着什么。

  自家公司的工程师,为提升几个点的转换效率,降低几摄氏度的镜片热变形付出的代价,在这一刻似乎显得有些近乎悲壮。

  “原来是这样。”

  “难怪他们能解决物镜系统的短板。”

  他回想起华国研发光刻机,在物镜上面一直以来的技术落后,先前还在疑惑为何能如此快突破,现在才明白竟是凭借全新的光源系统来进行弥补。

  念头停留在这里,嘴唇忍不住微动,用仅能身旁布林克听见的声音自顾自低喃一句。

  “这不是改进,是对光源物理的重新书写。”

  然还没容他继续思考,注意力顿时又被台上,徐铭放出的新内容吸引。

  “凭借逐光极紫外光刻机,和璇玑算法工具,以及由我们自主研发的全新一代光刻胶共同配合,首次全链路流片验证便取得圆满成功。”

  “设备综合利用率98.7%。”

  “预测良率98.3%。”

  “实际量测良率99%。”

  目光盯着屏幕中,那近乎一条直线的波动曲线,温克姆脸上的自信彻底消失不见。

  他下意识地看了眼身旁的布林克,发现后者正捧着笔记本电脑快速敲击,似乎是在验算着什么,并且整个脸色越来越白。

  公司最先进的工厂,要打成这样的稳定性,需要多复杂的自适应调教,多么漫长的工艺爬坡,他们两个人可以说都非常心知肚明。

  如此小的预测和实际测量误差,完全违背了他们熟知的工业常识。

  却也说明对方已经具备成熟的系统协同。

  毫不夸张的讲,他们与海外众多客户,数十年磨合建立的共生生态,被这种更高效更封闭的内循环模式挑战。

  关键他竟找不到自家的任何优势。

  台上的徐铭,没有去关注其他人的反应,在最后他又放出了两张测试芯片的电子显微镜照片。

  正是逐光生产的5纳米复杂工艺,以及阿斯麦公布的自家7纳米流片数据。

  “请注意边缘轮廓与接触孔底部的形貌。”

  徐铭从旁提醒着,随之调出三维原子探针断层扫描数据图揭示细节。

  能够清晰看到,逐光极紫外光刻机产出的结构,侧壁垂直度和界面粗糙度在统计指标上更优。

  同样半个小时过去,徐铭的这场演讲,也以圆满的结尾进入尾声。

  “我们研发的不是一台光刻机,我们提供的,是一个确定的答案。”

  “输入设计目标,输出制造结果。”

  “其间的所有不确定性,由我们的系统消化,这就是我们定义的下一代制造。”

  随着徐铭彻底讲完,场内掌声立刻如海啸般爆发。

  久经不息。

  但温克姆却听不到。

  他的世界很安静。

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