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第223章 实验验证的核心挑战

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  贺鹏涛身为春城光机所院士,在光刻机核心光源系统这个领域中,可以说已经奉献了小半辈子时间,要单论经验绝对称得上国内顶尖专家。

  也正因如此,他才更加清楚,研发稳定极紫外光源的复杂程度。

  作为国际上公认的高端光刻机,极紫外光源可以说是必备的东西,没有这种稳定且功率足够的光源,就无法制造更精密工艺的芯片,尽管相关理论不是绝对秘密,但关键是能不能把光源搞出来。

  而徐铭借助等离激元耦合态理论,提出了一种新的极紫外光源设想。

  相当于另辟蹊径。

  只要能完成实验验证,依旧可以获得极紫外光源。

  简单来说的话,就是原本的方法,已然被海外半导体设备公司垄断。

  导致国内这边无法实现突破。

  在这种情况下,徐铭却找到了其他道路,并且还更加高效简单,所具有的意义可想而知。

  不过贺鹏涛在今天之前,想的都是,大家先坐在一起对徐铭的设想进行完善。

  尽可能的查漏补缺,也好减少实验的试错成本。

  毕竟从一项大胆的设想,到具体的验证结果,中间往往需要不少时间。

  但他万万没想到,看完徐铭完成的内容后,整个人直接就被震惊住,首次对真正的天才有了直观的体验。

  徐铭仅用短短几天时间,便独自完善了设想,相当于直接整了份论文出来。

  面对摆在眼前的事实,贺鹏涛回顾过往,发现以前遇到的所谓天才,和徐铭竟没有可比性,怪不得对方能在学界创造出这么多奇迹。

  “原来真正的天才是这样式的。”

  说完心中暗自感慨一句,刚准备再开口,只听耳旁又响起丁顺安的声音。

  “徐总师。”

  “你现在可是整个光刻机专项的主心骨,眼下工作才刚刚展开,必须要注意好身体,保证睡眠多休息才行啊。”

  “下回不能这么熬了。”

  丁顺安同样看出了这份文件的含金量,心里第一反应就是徐铭熬了通宵,否则实在难以想象是几天的成果。

  外界都说徐铭一个理论数学家,担任光刻机项目的总设计师是瞎胡闹,现在看来徐铭拥有的实力,要比在公众面前展现出口多的多。

  徐铭把丁顺安的话悉数听进耳中,知道对方是在关心他的身体健康。

  当即微笑着接过话茬回应。

  “多谢丁院士关心,我会注意的。”

  他这么多年,每天几乎都要学习十八个小时,其中还包括雷打不动的日常锻炼。

  虽只用了几天对设想完善,却比其他人多很多时间。

  况且在多线程并行思维演算推导下,若完不成的话那才真有问题。

  “你们年轻人身体就是好,我和老贺就不行喽。”丁顺安点点头微笑着打趣。

  贺鹏涛接话道:“我可比你还小一岁呢。”

  待互相闲谈了两句后,贺鹏涛突然面色严肃,用非常正经的语气看向徐铭,重新把话题给引到了正事上面。

  “徐总师。”

  “我这边已经准备妥当,随时可以开展实验。”

  “微电子装备也一样。”丁顺安补充道。

  徐铭听完两位院士的话,又看向两旁眼中浮现出炙热目光的教授研究员,也终于不再卖关子,嘴角微微上扬拍板正式做出决定来。

  “那好。”

  “下面我来安排具体任务。”

  他这几天沉浸完善设想补充漏洞,正是为了能尽快验证极紫外光源。

  只要解决了最核心的光源系统,那么距离国内攻克高端极紫外光刻机也就不远。

  主要高端芯片涉及到的行业实在太多,还关系着很多先进技术的更新迭代,必须用最短的时间走出困境才行。

  否则较长时间待在这空窗期内,很有可能会再次被海外拉开差距。

  尤其是六代机项目,好不容易才与海外站在起跑线。

  既然大家都没有什么意见,他肯定也不会耽搁,话音落下后便直接安排起来。

  ……

  极紫外光源被称作难以驾驭的微光,海外方面的主流技术是采用激光激发等离子体,需要用高功率激光,以每秒数万次的频率轰击滴下的液态锡滴,将其激发成等离子体从而发出极紫外光源。

  但由于过程的能量转换效率极低,要满足芯片量产所需要的曝光速度,其功率必须达到250瓦以上,这意味着输入的能量是巨大的。

  除此之外整个光路还要在真空环境中进行,使得系统复杂性大幅度上涨。

  再加上锡滴方案产生的碎屑,更让极紫外光源系统成为科研人员的噩梦。

  而徐铭的设想,则是对系统重新架构。

  相比较主流方法的动态轰击液体锡滴,他采取了静态激发的方案。

  用一束高强度和高重复频率的激光,照射在高速旋转的光源靶盘上,如此通过等离激元耦合态理论,激光能够在每一点上瞬间激发耦合态,从而稳定以及高效的辐射出极紫外光源。

  不但绕过了海外的专利壁垒,还更加高效且规避了锡滴碎屑带来的苦恼。

  有助于延长光源的寿命时间。

  随着徐铭同众人,在具体实验上展开讨论,原本大家困惑的东西也立刻变得清晰起来。

  内心激动之下,毫不掩饰脸上浮现出的期待。

  “关于光源靶盘的制造,需要覆盖特殊薄膜,可以拜托给材料院帮忙研发。”

  “其余我没有任何意见。”

  贺鹏涛全程认真听完徐铭的所有话,待相关任务安排全部讲完之后,率先开口提出自己的观点表明态度。

  话音刚落。

  旁边的丁顺安也未沉默,立刻接过话茬附和。

  “我同意老贺的提议,交给材料院,会在很大程度上节省我们的时间。”

  “这样我们能更快进行验证。”

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