“滨江把剩余五千平方米全部装满设备,增加四条线,月产能从两万片推到四万片。”
韩栋在三个数字下方划了一条横线,写出总和:
月产晶圆:24万片。
月产QX-3芯片:192万颗。
“扣除终端迭代消耗后,可用于服务器的产能提升到每月超过一百五十万颗。”韩栋继续运算。
“七十二天。”韩栋在数字旁边画了一个圈。
“三座数据中心九十天建成,芯片在七十二天内备齐。
建筑完工的同时,芯片已经提前入库等着装机。”韩栋收起笔帽。
“时间差消除,无缝衔接。”
……
苏城,高新技术开发区。
凌晨一点十七分,沈志远被保密电话的铃声从床上拽起来。
他伸手摸到床头柜上的眼镜,撑起身子,没开灯,直接拿起话筒。
“沈厂长,韩总指令,苏城工厂即刻启动产线扩容方案,新增八条量产线,四十八小时内完成临时洁净厂房搭建,设备到位后立刻安装调试。
周立辉明天上午抵达苏城现场督办。”
袁珊的声音没有任何多余的修饰词。
沈志远没有立刻回答。
他戴上眼镜,从床头柜抽屉里摸出一支烟,点上,深吸一口。
“袁总,你确认是四十八小时?”
“确认。”
“我这儿不是盖鸡棚。”沈志远把烟灰弹进搪瓷缸里。
“洁净厂房的地面要铺设防静电环氧自流平涂层,固化时间不低于十二小时。
HEPA高效过滤送风系统的安装和气压平衡调试,标准周期是七天。
空气洁净度从施工状态降到万级以下,最少三天持续换气。”
“韩总说,工艺细节由您全权决策,时间节点不可更改。”
“明白了。”
沈志远挂断电话,坐在床沿上没动,烟烧到手指根部他才掐灭。
他今年五十二岁。
1978年进苏城无线电厂当学徒工,从扩散炉前的操作员干到车间主任,九十年代初被派去日本研修半年,回来后一手筹建了苏城第一条国产集成电路封装线。
韩栋三年前找到他的时候,他正窝在一个濒临倒闭的乡镇电子元件厂里,靠帮人修理二手光刻机的活赚工资。
韩栋给了他一座崭新的工厂、八条自研产线、以及一套他从未见过的制造体系。
三十年的经验告诉他,四十八小时搭一座洁净厂房,是不可能完成的工程。
但过去三年的经历又告诉他另一件事。
韩栋说不可更改,就是不可更改。
沈志远站起来,换上工装,出门。
凌晨两点,苏城芯片工厂的总调度室灯火通明。
沈志远推开门的时候,值班的三名工程师已经从各自工位上站起来。
生产副厂长赵鑫刚从车间赶回来,安全帽还夹在腋下,工装袖口沾着银灰色的硅粉。
“老赵,叫上基建科的老钱、设备科的马建华,五分钟后到会议室。”
沈志远挂上胸卡,语速比平时快了一倍。
五分钟后,四个人围坐在会议室长桌前,桌面上铺开厂区的总平面图。
沈志远拿起红色记号笔,在东侧预留地块上画了一个方框。
“六百亩预留地,三通一平早就做完了,新厂房选在这里,紧邻现有厂房的东侧防火通道,公用管线可以直接从主厂房接驳过来。”
基建科长老钱凑近看了一眼,摇了摇头。
“沈厂,就算用最快的钢结构预制板拼装方案,光打地基浇筑圈梁就要四天。
正常的洁净厂房土建周期是四十五天,我能压到三十天,再少的话……”
“四十八小时。”沈志远打断他。
老钱以为自己听错了。
“不打地基。”沈志远在地块上连续画了三条平行线。
“直接在平整的混凝土硬化地面上铺钢结构底座,焊死锚栓。
墙体用一百二十毫米厚的彩钢夹芯板拼装,内壁贴不锈钢板,缝隙全部打密封胶。
屋顶采用双层彩钢板中间夹岩棉,留出送风管道的安装空间。”
“沈厂,这不是正规的洁净厂房。”老钱皱眉。
“它不需要用二十年,只需要撑到正式厂房建成的九十天。”沈志远收起笔。
“九十天后,设备全部搬进永久厂房,这个临时车间拆掉当仓库。”
赵鑫接话:“洁净度怎么保证?彩钢板拼装的缝隙再怎么打胶,也做不到完全密封,沙尘颗粒进去,晶圆直接报废。”
沈志远没有回避这个问题。
他拿起电话,拨通了设备科马建华在仓库的分机。
“老马,库房里那批FFU风机过滤单元还有多少台?”
“沈厂,去年韩总多批了一批,一直没用上,现存七百二十台,全密封保存。”
“全部拉出来。”沈志远放下电话,看向赵鑫。
“不走传统的中央送风系统,七百二十台FFU直接吊装在厂房天花板下方,形成密集矩阵式层流送风。
每台FFU自带HEPA滤芯和风机,独立供电,独立过滤,不需要共用风管。”
沈志远在图纸上画出一排密集的方块。
“彩钢板缝隙漏进来的灰尘,会被七百二十台FFU构成的正压环境直接压出去。
车间内部气压始终高于外部,空气只往外走,不往里灌。
颗粒控制不到万级,做到十万级没有问题。”
赵鑫沉默了几秒。
他在半导体行业干了十五年,知道十万级洁净度不够做光刻,但足够做前道工序以外的封装和测试。
“光刻工序呢?”赵鑫问出关键问题。
“光刻区域至少要千级洁净度,FFU做不到。”
“光刻机自带独立密封舱体和内循环系统。”沈志远指向设备清单上那一行。
“天工系列的光刻对准设备,舱内自建百级微环境。
只要外部环境不低于十万级,舱口密封圈就能隔绝外部颗粒,这一点我上个月校验过。”
赵鑫抬起头,重新审视沈志远,这个方案不是临时拍脑袋想出来的。
沈志远上个月就校验过设备的外部环境容忍度,他在那个时候就已经预判到了,产能紧张的可能性。
“我只是不确定会来得这么快。”沈志远看到赵鑫的表情,淡淡说了一句。
凌晨三点十五分。
沈志远拨通了苏城建筑工程公司夜间值班室的电话。
“姓沈,苏城芯片工厂。
四个小时后,需要八台二十五吨汽车吊、十六辆平板运输车、四十名钢结构焊接工进场。现金结算,不走对公。”
对方报了一个加急价格,沈志远没还价。
挂断电话后,他在办公桌上铺开一张空白纸,开始手写设备需求清单。
八条新产线,每条线需要的核心设备。
合计:光刻对准设备八台、离子注入机八台、等离子刻蚀机十六台、化学气相沉积炉八台、氧化扩散炉十六台、清洗机二十四台、测试分选机十六台。
沈志远的笔停在光刻对准设备八台这一行上。
他放下笔,拿起电话,拨通燕京总部的专线。
电话响了一声就被接起。
“韩总,沈志远。”
“说。”
“临时厂房四十八小时可以搭起来,FFU矩阵方案能保证十万级洁净度,支撑除光刻外的所有工序,但是设备缺口卡住了。”
沈志远把清单上的数字一口气报完。