林教授盯着白板上那些工艺名词，额头的汗珠顺着鼻梁滑落。
他在半导体领域摸爬滚打三十年，太清楚这些词背后的技术壁垒有多高。
但林教授还是说出了心中疑惑。
“韩总，这些工艺设备，国内连影子都没有。
离子注入机全世界只有美国应用材料公司和日本日新电机能造，一台设备三千万美元起步，而且对华夏限制。”
“深反应离子刻蚀机更狠，德国普拉斯玛的设备精度能达到纳米级，但他们的出口清单里是明确限制的。”
秦远山也跟着补充：
“韩总，我查过资料。
低压化学气相沉积设备，国内最好的是中科院微电子所那台，还是八十年代从日本进口的二手货，精度根本达不到IGBT的要求。”
会议室的气氛再次沉重下来。
理论再完美，没有设备也只是空中楼阁。
韩栋没有立刻回应，而是拿起保温杯喝了口水。
“林教授说得对。”韩栋转过身。
“这些设备确实买不到。”
“所以，启航要自己造。”
“什么？！”
“韩总，您没开玩笑吧？”林教授极为震惊的说道。
“离子注入机那种东西，涉及高能物理、真空技术、精密控制……这是一个完整的工业体系！”
“我知道。”韩栋走回会议桌前。
“所以启航不是从零开始造全套设备。”
“IGBT的制造流程可以分解成十三个关键步骤。
其中有七个步骤，启航现有的设备经过改造可以满足。”
韩栋的笔尖点在示意图的前端。
“第一步，硅片清洗和氧化。这个启航半导体的QX-01生产线有现成的设备。”
“第二步，光刻。启航自主研发的光刻机，足够拿下。”
“第三步，薄膜沉积。这个需要改造，但技术路线清晰。”
林教授听到这里，眼睛微微眯起。
他开始重新审视这个年轻人。
韩栋说的没错。
IGBT制造确实可以拆解，而且据他所知，启航在半导体领域的成就也确实很高，这一年多确实积累了不少设备基础。
韩栋转向陆先进和林淑仪。
“老陆，淑仪，你们俩负责生产线改造。
把QX-01的二号线腾出来，所有能用的设备留下，不能用的全部拆除。”
陆先进和林淑仪对视一眼，同时点头。
“佳杰，林教授。”韩栋看向另外两人。
“你们负责仿真软件，我给你们列一个模块清单，按照优先级逐个攻克。”
“第一优先级是物理模型，这个必须在一个月内完成。没有准确的模型，后面的计算都是空中楼阁。”
“第二优先级是数值求解器，直接决定计算速度和精度。”
“第三优先级是前后处理，包括网格划分、结果可视化，这些是用户界面，可以放在最后。”
陆佳杰飞快地在笔记本上记录，手腕都写酸了。
“时间节点。”韩栋看了一眼墙上的挂历。
“今天是1月5号，到7月15号京沪高铁招标，一共六个月。”
“我给设备改造留一个月，给仿真软件留一个月，后面时间用来做样片验证。”
“如果一切顺利，6月15号之前，启航要拿出第一批IGBT样片的测试数据。”
六个月，从改造生产线开发仿真软件，到做出样片。
对林教授来说，这简直就是不可能完成的任务。
但是对于启航的团队来说，他们不止第一次执行这样的命令，早就习以为常，每一次对他们来说都是一种突破。
“散会。”韩栋说。
“各组立刻开始准备，后天一早我要看到详细的工作计划。”
众人起身，陆续走出会议室。
会议室里只剩下韩栋一个人。
他走到窗边，看着外面渐渐暗下来的天色。
六个月。
前世IGBT技术真正成熟是在2000年以后，那时候英飞凌、富士电机这些巨头已经把工艺打磨了十几年。
但那是在没有超算、没有精密机床、没有完整工业体系支撑的情况下，靠着一代代工程师用试错法慢慢摸索出来的。
而现在启航有超算，有天工系列机床，更重要的是，有他这个知道终点在哪里的人。
这不是异想天开。
而是一场精心计算过的闪电战。
……
几天后，滨江启航工业园。
启航半导体成产车间二号厂房的灯全部亮起。
林淑仪穿着白色的防尘服，站在生产线前。
她身后跟着十几个工程师，每个人手里都拿着图纸和工具。
“开始清场。”林淑仪下令。
工人们迅速行动起来。
QX-01芯片生产线是启航半导体的骄傲，前年刚建成投产，良率已经稳定在95%以上。
但现在这条线要被拆得面目全非。
“把这台扩散炉拆下来，小心点，别碰坏了加热线圈。”
“光刻机先断电，把控制柜的线缆做好标记。”
“清洗槽整个搬走，这个IGBT用不上。”
林淑仪的指令清晰而果断。
她在启航半导体工作快两年了，从最初那个在海外大厂叱咤风云的女博士，到现在启航半导体的副总经理，这两年她经历了很多，也成长了很多。
但这次的任务，还是让她感到不小的压力。
改造一条芯片生产线，难度不在于拆，而在于装。
每一台设备的位置，管线的走向，洁净度的控制，都需要精确计算。
更何况这次要装的设备，有一半还没改造出来。
“淑仪。”陆先进走过来，手里拿着一沓图纸。
“韩总刚传真过来的，离子注入机的初步改装设计。”
林淑仪接过图纸，迅速翻看。
图纸画得极其详细，每一个零件都有标注，甚至连螺栓的规格都写清楚了。
但越看林淑仪的眉头皱得越紧。
“陆总，这个离子源的结构……”她指着图纸上一个复杂的腔体。
“这是要用钨丝加热蒸发固态硼源，然后电离成离子束？”
“对。”陆先进点头。
“韩总说这是最简单的离子源方案，虽然效率不高，但胜在结构可靠。”
“问题是这个腔体的真空度要求。”林淑仪的手指点在图纸上的一行小字。
“10的负7次方帕，这比QX-01生产线的真空系统高了两个数量级。”
陆先进沉默了。
真空度，是半导体设备的命门之一。
真空度不够，残余气体会污染离子束，导致注入精度下降。
但要达到10的负7次方帕这个级别，需要的是分子泵、钛升华泵这些高端设备。
这些东西国内买不到。
“韩总说了。”陆先进从口袋里掏出一张便签。
“分子泵启航自己做不了，但可以找中科院等离子体物理研究所合作。
他们有现成的技术，只是没有工业化。”
林淑仪眼睛一亮。
“对啊！等离子体所是搞核聚变的，他们的真空系统比咱们要求高多了。”
“我马上联系。”陆先进转身就走。
林淑仪继续看图纸。
越看她越感叹韩栋的设计思路。
整台离子注入机被拆解成二十三个模块，每个模块都尽可能使用现有技术和成熟方案。
比如离子加速器，用的是静电加速原理，这在医疗设备的X光机里早就应用了。
比如束流偏转系统，用的是电磁铁，这在启航的电机实验室有现成的绕线工艺。
唯一的难点，就是如何把这些模块整合起来，让它们协同工作。